Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову фотошаблон
Организация производства пленочных структур
Н.З. Сафиуллин - д.т.н., д.экон.н., профессор, зав. кафедрой «Технологии радиоэлектронных средств», КНИТУ-КАИ им. А.Н. Туполева. E-mail: snz@trec.kstu-kai.ru Р.Ш. Загидуллин - ст. преподаватель, кафедра «Технологии радиоэлектронных средств», КНИТУ-КАИ им. А.Н. Туполева. E-mail: rustemshag1980@mail.ru
Особенности проектирования фотошаблонов для производства наноразмерных полупроводниковых СБИС
А.В. Корнюхин - вед. специалист, ЗАО «СКАН». E-mail: a.kornuhin@scanru.ru С.А. Курдюков - зам. генерального директора, ЗАО «СКАН». E-mail: sergey@scanru.ru А.Н. Ланцев - генеральный директор, ЗАО «СКАН». E-mail: lan@scanru.ru М.В. Старилов - начальник отдела, ЗАО «СКАН». E-mail: mikhail@scanru.ru