Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову силицид
Технологические особенности формирования катодных узлов автоэмиссионных и туннельных нано- и микроприборов
Н.Н. Балан - к.т.н., гл. специалист, ФГУП «ВО «Внештехника», г. Москва. Е-mail: nikita.balan@gmail.com Е.Н. Ивашов - д.т.н., профессор, Московский государственный институт электроники и математики (технический университет). Е-mail: ienmiem@mail.ru П.А. Лучников - зав. лабораторией, «НИИ «Информатика», Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики. Е-mail: fisika@mail.ru А.Б. Невский - к.т.н., гл. специалист, ОАО «Базовые технологии», г. Москва. Е-mail: albornevsky@gmail.com
Низкотемпературная технология формирования межсоединений и контактов воздействием ионных пучков

Н.В. Черкесова1, Г.А. Мустафаев2, А.Г. Мустафаев3

1,2 ФГБОУ ВО «Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова» (г. Нальчик, Россия)
3 ГАОУ ВО «Дагестанский государственный университет народного хозяйства» (г. Махачкала, Россия)
1 natasha07_2002@mail.ru, 2 zoone@mail.ru, 3 arslan_mustafaev@mail.ru