Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову микросистемная техника
Формирование исполнительных элементов устройств микросистемной техники травлением в индуктивно-связанной плазме
А. Е. Ануров инженер-исследователь ФГУП «РНИИ КП». E-mail: anurov_aleksey@mail.ru Е. А. Гринькин аспирант МАТИ. А. А. Жуков д. т. н., доцент, профессор МАИ, нач. отд. ФГУП «РНИИ КП». E-mail: contact@rniikp.ru
Контроль качества диэлектрических слоев интегральных микросхем и изделий микросистемной техники
В.В. Андреев - д. т. н., проф., Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: andreev@bmstu-kaluga.ru А.А. Столяров - д. т. н., проф., зав. кафедрой, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана Д.С. Васютин - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана А.М. Михальков - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
Контроль качества диэлектрических слоев интегральных микросхем и изделий микросистемной техники
В.В. Андреев - д. т. н., проф., Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: andreev@bmstu-kaluga.ru А.А. Столяров - д. т. н., проф., зав. кафедрой, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана Д.С. Васютин - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана А.М. Михальков - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана