С. В. Богословский д.т.н., проф., зам. директора НПК микроэлектроники, микросистемотехники и нанотехнологий, ОАО «НПП «Радар ммс» (Санкт-Петербург) Г. А. Сапожников д.т.н., зам. Генерального директора-директор НПК микроэлектроники, микросистемотехники и нанотехнологий, ОАО «НПП «Радар ммс» (Санкт-Петербург) e-mail: radar@radar-mms.com

В.В. Ливенцев1, О.В. Беспалов2, Р.В. Семенов3

1,3 АО «Концерн «Созвездие» (г. Воронеж, Россия)

2 АО «Модуль-В» (г. Воронеж, Россия)

1 vlivencev@mail.ru; 2 ledge@mail.ru; 3 antora1@mail.ru