Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову Микросистемная техника
Формирование исполнительных элементов устройств микросистемной техники травлением в индуктивно-связанной плазме
А. Е. Ануров инженер-исследователь ФГУП «РНИИ КП». E-mail: anurov_aleksey@mail.ru Е. А. Гринькин аспирант МАТИ. А. А. Жуков д. т. н., доцент, профессор МАИ, нач. отд. ФГУП «РНИИ КП». E-mail: contact@rniikp.ru
Контроль качества диэлектрических слоев интегральных микросхем и изделий микросистемной техники
В.В. Андреев - д. т. н., проф., Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: andreev@bmstu-kaluga.ru А.А. Столяров - д. т. н., проф., зав. кафедрой, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана Д.С. Васютин - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана А.М. Михальков - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
Контроль качества диэлектрических слоев интегральных микросхем и изделий микросистемной техники
В.В. Андреев - д. т. н., проф., Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: andreev@bmstu-kaluga.ru А.А. Столяров - д. т. н., проф., зав. кафедрой, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана Д.С. Васютин - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана А.М. Михальков - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
Анализ способов измерения механических свойств кремния в космической электронике

П.С. Кузнецов1, А.О. Синельников2, Э.Х. Гутьеррес Бенавидес3

1 АО «ГосНИИП» (Москва, Россия)
2, 3 Российский университет дружбы народов им. Патриса Лумумбы (Москва, Россия)
 1 ps_kuznetsov@mail.ru, 2 sinelnikov-ao@rudn.ru, 3 estebangutierrezrusia@gmail.com