В.Б. Митюхляев - к.ф.-м.н., начальник отдела, АО «НИЦПВ» (Москва) E-mail: fgupnicpv@mail.ru С.С. Анцыферов - д.т.н., профессор, кафедра метрологии и стандартизации, Московский технологический университет (МИРЭА) E-mail: c_standard@fel.mirea.ru В.Г. Маслов - аспирант, кафедра метрологии и стандартизации, Московский технологический университет (МИРЭА); инженер, АО «НИЦПВ» (Москва) E-mail: monty-49@mail.ru

Рассмотрены растровые электронные микроскопы (РЭМ), являющиеся одними из наиболее высокоточных средств измерений. Показано, что для обеспечения прецизионности измерений необходимо учитывать все параметры, которые могут оказывать влияние на результаты измерений. Среди прочих выделена нелинейность развертки РЭМ, которая также вносит свой вклад в погрешность измерений. Предложена методика оценки нелинейности развертки РЭМ и проведена ее практическая апробация.

 

1. Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Э. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. М.: Мир. 1984. 303 с.
2. Никитин А.В. Проблемы измерений размеров в микроэлектронной технологии // Измерительная техника. 2012. № 8. С. 15−20.
3. Альзоба В.В., Данилова М.А., Кузин А.Ю., Митюхляев В.Б., Раков А.В., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Оценка нелинейности сканирования на растровом электронном микроскопе // Микроэлектроника. 2012. Т. 41. № 6. С. 430−432.
4. Michael A. Sutton, Ning Li, Dorian Carcia, Nicolas Cornille, Jean Jose Orteu, Stephen R. McNeil, Hubert W. Schreier and Xiaodong Li Metrology in a scanning electron microscope: theoretical developments and experimental validation // Measurement science and technology. 2006. V. 17. P. 2613−2622.
5. ГОСТ Р 8.628-2007 Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. 2007. 11 с.
6. Анцыферов С.С., Афанасьев М.С., Русанов К.Е. Обработка результатов измерений: Учеб. пособие / Под ред. А.С. Сигова. М.: Икар. 2014. 228 с.