350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №9 за 2015 г.
Статья в номере:
Анализ качества технологического процесса производства полупроводниковых инжекционных лазеров
Ключевые слова: полупроводниковый лазер технологический процесс статистическая оценка качества контрольные карты Шухарта
Авторы:
И.В. Чухраев - к.т.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: igor.chukhraev@mail.ru В.Е. Драч - к.т.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: drach@kaluga.org
Аннотация:
© Авторы, 2015 © ЗАО «Издательство «Радиотехника», 2015 Рассмотрены вопросы статистического регулирования качества технологического процесса производства полупроводниковых инжекционных лазеров импульсного режима работы. Проведен анализ качества технологического процесса по величине длительности импульсов лазерного излучения. Для оценки стабильности и воспроизводимости технологического процесса применены контрольные карты Шухарта.
Страницы: 47-50
Список источников

 

  1. Барышев В.Г., Сидоров Ю.А., Столяров А.А., Чухраев И.В. Сравнительная оценка методов контроля дефектности диэлектрических пленок // Электронная техника. Серия 6: Материалы. 1990. № 1. С. 72−75.
  2. Патент SU№ 1840164 от 27.06.2006. Способ контроля качества технологического процесса изготовления МДП-ИС / Барышев В.Г., Столяров А.А., Сидоров Ю.А., Чухраев И.В.
  3. Чухраев И.В. Повышение оперативности управления технологическим процессом получения подзатворного диэлектрика МДП-ИС. Дис. - канд. техн. наук. Калуга: 2002. 172 с.
  4. Драч В.Е. Исследование температурной зависимости генерации положительного заряда в термических пленках SiO2 МДП-структур в условиях управляемой сильнополевой инжекции электронов. Дис. - канд. техн. наук. Калуга: 2005. 185 с.
  5. Драч В.Е., Лоскутов С.А., Чухраев И.В. Перспективные методы контроля зарядовой нестабильности подзатворного диэлектрика МДП-приборов // Наука и образование: электронное научно-технич. издание. 2012. № 4. С. 53.
  6. Драч В.Е., Чухраев И.В. Методика мониторинга генерации заряда в наноразмерном диэлектрике МДП-транзистора // Наука и образование: электронное научно-технич. издание. 2012. № 2. С. 53.
  7. Клячкин В.Н. Статистические методы в управлении качеством: компьютерные технологии: Учеб. пособие для вузов. М.: ИНФРА-М. 2009. 304 с.
  8. Айхлер Ю., Айхлер Г.И. Лазеры. Исполнение, управление, применение / Пер. с нем. Л.Н. Казанцевой. Москва. 2012. Сер. II‑25. Мир физики и техники. 496 с.
  9. Электронный ресурс http://lasers.org.ru/.
  10. Электронный ресурс http://www.voshod-krlz.ru/.
  11. ГОСТ Р 50779.42-99. Статистические методы. Контрольные карты Шухарта. М.: Стандартинформ. 2008.
  12. Пономарев С.В., Мищенко С.В., Белобрагин B.Я., Самородов В.А., Герасимов Б.И., Трофимов А.В., Пахомова C.А., Пономарева О.С. Управление качеством продукции. Инструменты и методы менеджмента качества: учеб пособие. М.: РИА «Стандарты и качество». 2005. 248 с.
  13. ГОСТ Р 50779.46-2012 Статистические методы. Управление процессами. Часть 4. Оценка показателей воспроизводимости и пригодности процесса. М.: Стандартинформ. 2014.