350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №4 за 2014 г.
Статья в номере:
Резонансный метод контроля СВЧ-потерь и технологических параметров при изготовлении микрополосковых устройств радиоэлектронного приемника
Ключевые слова: микрополосковая линия СВЧ-потери интегральные микросхемы технология изготовления интегральных микросхем резонансный метод технология нанесения тонких пленок контроль
Авторы:
А.А. Арешкин - д.т.н., вед. науч. сотрудник, ОАО «ГСКБ «Алмаз-Антей»
Аннотация:
Разработан способ определения составляющих СВЧ-потерь в микрополосковых линиях передач. Предложен объективный метод контроля по выбору оптимальных технологических параметров при изготовлении тонкопленочных элементов микрополосковых СВЧ-устройств радиолокационного приемника.
Страницы: 54-61
Список источников

  1. Малорацкий Л.Г., Явич Л.Р. Проектирование и расчет СВЧ элементов на полосковых линиях. М.: Сов. радио. 1972.
  2. А.с. 716380 (СССР). Устройство для контроля характеристик материалов и технологических процессов при изготовлении микрополосковых элементов / Арешкин А.А., Афанасьев А.А., Баулина И.Н. / Заявлено 15.06.78.