350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №3 за 2013 г.
Статья в номере:
Анализ кислот высокой чистоты методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой
Ключевые слова:
элементный анализ
кислоты высокой чистоты
метод масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой
МС-ИСП
матричные влияния
спектральные влияния
Авторы:
В.М. Ретивов - директор ЦКП «Исследовательский научно-аналитический центр ФГУП «ИРЕА» (Москва)
Д.В. Котов - мл. науч. сотрудник, Аналитический испытательный центр ФГУП «ИРЕА» (Москва)
П.А. Волков - зам. директора ЦКП «Исследовательский научно-аналитический центр ФГУП «ИРЕА» (Москва)
А.В. Лобанова - мл. науч. сотрудник, Аналитический испытательный центр ФГУП «ИРЕА» (Москва)
Л.А. Лебедева - ст. науч. сотрудник, Аналитический испытательный центр ФГУП «ИРЕА» (Москва)
В.З. Красильщик - к.х.н., зам. зав. Аналитическим испытательным центром ФГУП «ИРЕА» (Москва)
К.К. Булатицкий - к.х.н., главный метролог, зав. Аналитическим испытательным центром ФГУП «ИРЕА» (Москва)
Р.А. Санду - д.т.н., директор ФГУП «ИРЕА» (Москва)
Аннотация:
Рассмотрены возможности и ограничения метода масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой при ее использовании для анализа элементного состава и количества примесей в кислотах высокой степени чистоты, таких как HCl, HNO3, HF, H2SO4, H3PO4. Исследованы матричные и спектральные помехи, возникающие при анализе указанных объектов. Разработано два варианта метода анализа кислот - прямой, основанный на анализе разбавленных в 10-20 раз кислот, и комбинированный, основанный на предварительном отделении матрицы методом упаривания и растворения сухого остатка разбавленным раствором HNO3.
Страницы: 67-73
Список источников
- EHpov V.N. Skhema analiza bajjkalskojj vody metodom mass-spektrometrii s induktivno-svjazannojj plazmojj // Analitika i kontrol. 1999. T. 3. № 4. S. 37-43.
- Evans E.H., Giglio J.J. Interferences in inductively coupled plasma mass spectrometry. A review // Journal of Analytical Atomic Spectrometry. 1993. V. 8. P. 1-18
- Stewart I., Ollsik J. Steady state acid effects in ICP-MS // Journal of Analytical Atomic Spectrometry. 1998. V. 13. P. 1313-1320
- Burton L.L., Horlick G. MS Interview: An elemental mass spectrometry spectral interference data base // Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. 1992. V.47. I. 14. P. 1621-1627.
- May T., Wiedmeyer R. A table of polyatomic interferences in ICP-MS // Atomic Spectroscopy, 1998. V. 19. P. 150-155.
- Todoli J., Mermet J. Acid interferences in atomic spectrometry: analyte signal effects and subsequent reduction // Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. 1999. V.54. P. 895-929.
- Yman H, Hu S., at all. Preparation of ultra-pure water and acids and investigation of background of an ICP-MS laboratory // Talanta. 2000. V.52 P. 971-981.
- Paulsen P., Beaty E., at all. Inductively coupled plasma mass spectrometric analysis of ultrapure acids // Analytical Chemistry. 1988. V. 60. P. 971-979.
- Paulsen P., Beary E., at all. Analysis of ultrapure reagents from a large sub-boiling still made of Teflon PFA // Analytical Chemistry. 1989. V. 61. P. 827-830.
- Kishi Y., Kawabata K. DRC-ICP-MS analysis of various chemicals used in the semiconductor industry // Atomic Spectroscopy. 2003. V. 24. I. 2. P. 66-72.
- Meng Y., Lin H.,
Huang Z. Determination of trace metal in nitric acid of
highly pruity by ICP-MS // Fenxi Shiyanshi. 2001. V. 20.
I. 6. P. 67-69. - Heo Y., Gill J., Lim H. Analysis of Ultra Pure Sulfuric Acid for Semiconductor Using High Resolution ICP-MS // Analytical Science & Technology. 1998. V. 11. I. 4. P. 311-315.
- Chanrasia S.C., Sabayam A.C., at all. Combined isopiestic and sub-boiling distillation method for the purification of hydrofluoric acid used for ICP-MS elemental Analysis // Atomic Spectroscopy, 2006. V. 27. I. 4. P. 134-137.
- Bonyssier B., Ordonez Y. Determination of mercury in organic solvents and gas condensates by μflow-injection - inductively coupled plasma mass spectrometry using a modified total consumption micronebulizer fitted with single pass spray chamber // Spectrochimica Acta Part B. 2006. V. 61. B (9). P. 1063-1068.
- Denoyer E., Bruechner P. Determination of trace impurities in semiconductor-grade hydrofluoric acid and hydrogene peroxide by ICP-MS // Atomic Spectroscopy. 1995. V. 16. I. 1. P. 12-15.
- Kawabata K., Kishi Y., Thomas R. The Benefits of dynamic reaction cell ICP-MS technology to determine ultra trace metal contamination levels in high purity phpsphoric and sulfuric acid // Atomic Spectroscopy. 2003. V. 24. I. 2. P. 57-68.