350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №2 за 2013 г.
Статья в номере:
Исследование влияния технологических операций на качество микросхем
Ключевые слова: микросхема качество отказ физико-техническая экспертиза
Авторы:
В.К. Дорошевич - д.т.н., ст. науч. сотрудник, исполнительный директор, Федеральный фонд «Развитие электронной техники» К.К. Дорошевич - д.т.н., профессор, гл. науч. сотрудник, ФГКУ «46ЦНИИ» МО РФ
Аннотация:
Показано влияние основных технологических операций на качество микросхем.
Страницы: 13-14
Список источников
  1. Отчет о НИР «Исследование методов контроля и физико-технического анализа качества операций типовых техноло-
    гических процессов изготовления схем с целью разработки мероприятий по дальнейшему повышению их качества».  22 ЦНИИИ МО РФ. 1980.
  2. Отчет о НИР «Разработка требований к системе контроля и обеспечения качества технологических процессов изготовления микросхем с целью повышения их надежности. Разработка требований к системе контроля процессов изготовления микросхем военного назначения с повышенной надежностью». 22 ЦНИИИ МО РФ. 1980.
  3. Дорошевич В.К. Влияние технологических операций на качество микросхем // Материалы Междунар. научно-технич. конф. «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения». 25-28 октября 2005 г. Москва.