350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №4 за 2012 г.
Статья в номере:
Поглощение примесных газов в отпаянном атомарном лазере пленкой титана, полученной методом катодного распыления
Ключевые слова: отпаянный лазер геттер пленка титана
Авторы:
В.Э. Бруггер - инженер, Московский государственный институт электроники и математики И.И. Савельев - нач. лаборатории, Московский государственный институт электроники и математики. E-mail: artressinner@gmail.com, i.saveliev@gmail.com Е.В. Сухов - нач. участка, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М. Ф. Стельмаха Э.П. Пролейко - вед. науч. сотрудник, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М. Ф. Стельмаха Л.Д. Маш - вед. науч. сотрудник, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М. Ф. Стельмаха. Е-mail: valentinproleiko@mail.ru Н.И. Пчелинцева - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н. Э. Баумана. Е-mail: fn2kf@list.ru
Аннотация:
Проведено исследование возможности поглощения примесных газов в He-Ne-лазере плёнкой титана, нанесённой методом «катодного распыления», в малогабаритной моноблочной конструкции. Показано, что использование такой плёнки позволяет уменьшить остаточное давление на несколько порядков и на 1-2 порядка уменьшить скорость натекания примесных газов. Определены оптимальные режимы распыления титановых электродов.
Страницы: 32-36
Список источников
  1. Шехмейстер Е. И. Технология производства электровакуумных приборов. М.: Высшая школа. 1992.
  2. Петров В. С. и др. Основы материаловедения геттерных материалов. Физико-химические основы геттерирования газов металлами. М.: Изд-во МГИЭМ. 2006. Ч. I.
  3. Theodore J. Podgorski, St. Paul Minn. Getter for a ring laser angular rate sensor. Honeywell Inc., Minneapolis, Minn. 1985. № 767. Р. 693.
  4. DhirubhaiPatel. Ring laser gyroscope having combined electrode and getter. West Hills, CA (US). 2001. №09/916. Р. 12
  5. Плешивцев Н. В. Катодное распыление. М.: Атомиздат. 1968. С. 347.