350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №2 за 2012 г.
Статья в номере:
Оценка прочностных характеристик бескорпусных МЭМС
Ключевые слова: бескорпусные МЭМС прочность конструкции физико-механические свойства моделирование конструкции
Авторы:
П.И. Дидык - д.т.н., доцент, нач. отдела, ОАО «Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем» А.А. Жуков - инженер-исследователь, ОАО «Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем»
Аннотация:
Предложена методика оценки прочностных характеристик бескорпусных МЭМС. Методика включает в себя оценку прочности конструкции с использованием физической модели, моделирование и выявление «слабых» мест конструкции под действием внешних воздействий в САПР ANSYS. Проведена оценка физико-механических характеристик конструкции, выполненной на основе монокристаллического кремния, к которой привариваются или припаиваются шины-выводы
Страницы: 19-24
Список источников
  1. Lepselter M.P., Waggener H. A., MacDonald R. W. Beam-Lead Devices and Integrated Circuits // Proceedings of the IEEE. 1965. V. 53. № 4. P. 405.
  2. Чувствительные элементы МЭМС. http://www.scribd.com/doc/36883702/
  3. MEMS accelerometers. http://www.memsuniverse.com/mems-accelerometers/
  4. Magnetostrictive canteliver. http://www.memsuniverse.com/magnetostrictive-cantilever/
  5. Heatuator in MEMS. http://www.memsuniverse.com/mems_heatuator-wmv/
  6. Dragoi V., Farrens S., Linder P. Tried and test bonding for MEMS // European Semiconductor. 2005. V. 27. № 11. P. M16-M18.
  7. Борисов В.Ф., Лавренов О.П., Назаров А.С., Чекмарев А.Н. Конструирование радиоэлектронных средств / под. ред. А.А. Назарова. М.: МАИ. 1996.
  8. Vibratory Reed Device (MEMS), US Patent 3,609,593; issued 1971.
  9. Моделирование прочностных характеристик в САПР ANSYS [Электронный ресурс]: модели и инструменты для решения задач механики твердого тела. 2009. http://www.ansys.ru/index.php-option=com_content&task=view&id=14&Itemid=25.
  10. Yazdi, N., Ayazi, F. and Najafi, K. Micromachined inertial sensors // Proc. IEEE. 1998. V.86. № 8. P.1640 - 1659.
  11. Распопов В.Я. Микромеханические приборы: учебное пособие. М.: Машиностроение. 2007.
  12. Варадан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение. М.: Техносфера. 2004.