350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №7 за 2011 г.
Статья в номере:
Влияние дефектов поверхности на динамические свойства микрокантилеверов
Ключевые слова: МЭМС поверхность частота МКЭ
Авторы:
Г.Н. Гайдуков - д.ф.-м.н., профессор, кафедра общей физики, Московский Институт Электронной техники. E-mail: gaid@miee.ru П.С. Пагин - аспирант, кафедра общей физики, Московский Институт Электронной техники. E-mail: paginp@rambler.ru
Аннотация:
В статье показано влияние линейных дефектов поверхности на собственную частоту микрокантилевера.
Страницы: 54-56
Список источников
  1. Гайдуков Г.Н.Исследование влияния упругого взаимодействия на формирование дефектных структур и примесных неоднородностей в полупроводниковых материалах. М.: МИЭТ. 1992.
  2. Eom K., Kwon T., Yoon D. // Phys.Rev. B 76. 113408. 2007.
  3. Weissmuller J. and Duan H. // Phys.Rev. Lett. 101. 146102. 2008
  4. Lu P., Lee H.P., Lu C., and O-Shea S.J. // Phys. Rev. B 72. 085405. 2005.