350 руб
Журнал «Радиотехника» №6 за 2020 г.
Статья в номере:
Метод проведения пакетной калибровки MEMS-датчиков: гироскопов и акселерометров
Тип статьи: научная статья
DOI: 10.18127/j00338486-202006(12)-03
УДК: 621.3.088.7
Авторы:

Н.В. Ципина − к.т.н., доцент, 

кафедра конструирования и производства радиоаппаратуры, 

ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический университет» (г. Воронеж, Россия) E-mail: kipr@vorstu.ru

Я.В. Скитский – бакалавр, 

ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический университет» (г. Воронеж, Россия) E-mail: kipr@vorstu.ru

А.Э. Привалова – бакалавр, 

ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический университет» (г. Воронеж, Россия) E-mail: kipr@vorstu.ru

Ю.А. Пирогова – магистрант,  кафедра конструирования и производства радиоаппаратуры, 

ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический университет» (г. Воронеж, Россия)

E-mail: kipr@vorstu.ru

П.П. Чураков − профессор, 

декан факультета «Приборостроение, информационные технологии и системы»,  Пензенский государственный университет (г. Пенза, Россия) E-mail: fait@pnzgu.ru

Аннотация:

Постановка проблемы. Микроэлектромеханические системы (MEMS) – одна из наиболее передовых технологий, позволяющая значительно улучшить характеристики электронной аппаратуры, а также создавать устройства для решения задач в совершенно новых областях. Популярность данных устройств вызвана простотой их использования, низкой ценой и малыми габаритными размерами. MEMS-датчики, как правило, оснащаются интегрированной электроникой обработки сигнала и не имеют движущихся частей. Этим обуславливается их высокая надежность и способность обеспечивать стабильные показания в жестких условиях окружающей среды (перепады температур, удары, влажность, вибрация, электромагнитные и высокочастотные помехи). За последние несколько лет MEMS-датчики получили широкое распространение по всему миру. В каждом выпускаемом смартфоне установлен MEMS-датчик, а это означает многомиллионный выпуск в год данных устройств. Для выпуска надежных и качественных MEMS-датчиков на производстве необходимо организовать калибровку и отбраковку неисправных изделий. На большинстве предприятий организована калибровка и испытание каждого датчика в отдельности на конвейере, что значительно увеличивает время изготовления и как следствие увеличивает себестоимость изделия. 

Цель. Разработать метод и алгоритм пакетной (параллельной) калибровки и испытания MEMS-датчиков (акселерометров и гироскопов) для замены последовательной для сокращения трудозатрат и времени изготовления таких устройств с заданным уровнем надежности и качества.

Результаты. Предложены метод и алгоритм пакетной калибровки и отбраковки. Получен метод, значительно выигрывающий в производительности при массовом изготовлении MEMS-датчиков и позволяющий проводить одновременную калибровку 16 датчиков на одном тестовом столе с одновременной отбраковкой дефектных изделий.

Практическая значимость. Полученные результаты могут использоваться при массовом и крупносерийном производстве MEMS-датчиков (акселерометров и гироскопов). Предложенный метод пакетной калибровки и отбраковки значительно ускоряет и удешевляет процесс производства MEMS-устройств и становится незаменимой в современных технологических процессах.

Страницы: 15-18
Список источников
  1. Mishra M.K., Dubey V., Mishra P.M., Khan I. MEMS Technology: A Review // Journal of Engineering Research and Reports. 2019. V. 4. № 1. Р. 1−24. https://doi.org/10.9734/jerr/2019/v4i116891.
  2. Пирогов А.А., Буслаев А.Б., Костюков А.С. Разработка моделей и алгоритмов проектирования цифровых устройств с использованием программируемых логических интегральных схем // Вестник Воронежского государственного технического университета. 2018. Т. 14. № 4. С. 88−95.
  3. Макаров О.Ю., Ципина Н.В., Шуваев В.А. Комплексный подход к решению задач анализа и обеспечения тепловых характеристик при проектировании РЭС // Радиотехника. 2017. № 6. С. 166−170.
  4. Башкиров А.В., Муратов А.В., Хорошайлова М.В., Ситников А.В., Ермаков С.А. Низкоплотностные коды малой мощности декодирования // Радиотехника. 2016. № 5. С. 32−37.
Дата поступления: 17 марта 2020 г.