Р.К. Яфаров - д.т.н., профессор, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: pirpc@yandex.ru П.Д. Шалаев - к.т.н., АО «НПП «Алмаз» (г. Саратов). E-mail: p.d.shalaev@yandex.ru А.Р. Яфаров - сотрудник АО «НПП «Алмаз» (г. Саратов). E-mail: andr.yf@yandex.ru

Экспериментально установлено и обосновано с использованием квантово-механических представлений влияние режима осаждения алмазографитовых пленочных структур в неравновесной СВЧ-плазме паров этанола низкого давления на их авто-эмиссионные характеристики. Показано, что выбором режимов осаждения, обеспечивающих уменьшение размеров алмазо-подобных нанокластеров в графитоподобных матрицах, достигается уменьшение порога напряженности электрического поля автоэлектронной эмиссии в 4−6 раз по сравнению с аморфными гидрогенезированными углеродными пленками, полученными другими способами.

 

1. Bonard J.M., Salvetat J.- P., Stockli T., Heer W.A., Forro L., Chatelain A. // Appl. Phys. Lett. 1998. V. 73. P. 918.
2. Яфаров Р.К. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий. М.: Физматлит. 2009. 216 с.
3. Технология тонких пленок / Пер. с англ. / Под ред. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко. М.: Сов. радио. 1977. 764 с.
4. Алмазы в электронной технике: сб. ст. / Под ред. В.Б. Кваскова. М.: Энергоатомиздат. 1990. 248 с.
5. Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. Введение в физику поверхности. М.: Наука. 2006. 490 с.
6. Пат. на изобретение № 2309480 РФ от 27.10. 2007. Бюл. № 30. Материал и способ изготовления многоострийного автоэмиссионного катода / Яфаров Р.К., Муллин В.В., Семенов В.К.