В.И. Анисимкин - д.ф.-м-н., гл. науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва) E-mail: anis@cplite.ru М.А. Земляницин - вед. инженер, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва) В.А. Осипенко - ст. науч. сотрудник, ОАО «НИИ «Элпа» (Москва)

Предложен и разработан новый газочувствительный элемент, объединяющий в рамках одной подложки высокотемпературный газовый датчик резистивного типа и измеритель температуры на основе поверхностных акустических волн. Отмечено, что лемент осуществляет детектирование газов одновременно с преобразованием аналогового сигнала (изменение электросопротивления датчика-нагревателя) в цифровой (изменение частоты или фазы акустической волны). Показано на примере кислорода, что по сравнению с аналогичным устройством на основе термокондуктометрического эффекта, в котором нагреватель нечувствителен к кислороду, чувствительность акусторезистивного элемента возрастает на порядок.

 

1. Фрайден Дж. Современные датчики. Справочник. М.: Техносфера. 2006.
2. Анисимкин В.И., Земляницин М.А., Пятайкин И.И. Детектирование газов с помощью термокондуктометрического эффекта // Нелинейный мир. 2015. Т. 13. № 2. С. 62-64.
3. Anisimkin V.I., Penza M., Osipenko V.A., Vasanelli L. Gas Thermal Conductivity Sensors Based on SAW // IEEE Transaction on Ultrasonics, Frrroelectrics, and Frequency Control. 1995. V. 42. № 6. P. 978-980.
4. Анисимкин В.И., Максимов С.А., Пенза М., Васанелли Л. Термокондуктометрическое детектирование газов и газовых потоков с помощью линий задержки на поверхностных акустических волнах // ЖТФ. 1997. Т. 67. № 5. С. 119-123.