Н.В. Воронова - начальник лаборатории фотошаблонов, ОАО «НИИ «Элпа» (Москва). Е-mail: vonavl@mail.ru В.И. Анисимкин - д.ф.-м.н., гл. науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва)

Определена совокупность трех акустических волн для одного из наиболее используемых пьезоэлектрических кристаллов 128-Y-LiNbO3, наиболее пригодных для одновременного детектирования вязкости, электрической проводимости и температуры жидкости объемом порядка 100 мкл. С использованием этих волн разработан, изготовлен и испытан макет трехпараметрического датчика, проведена его калибровка и определен диапазон измеряемых величин и точность измерения.

 

1. Балышева О.Л.Акустоэлектронная компонентная база // Радиоэлектроника. 2014. № 6.
2. Анисимкин И.В., Гуляев Ю.В., Анисимкин В.И. Методы исследования жидкостей с помощью поверхностных акустических волн // Радиотехника. 2010. № 9. С. 9-31.