350 руб
Журнал «Нелинейный мир» №2 за 2012 г.
Статья в номере:
Синтез плёнок оксида ванадия в магнетронной распылительной системе с факельной формой рекомбинационного горения плазмы
Ключевые слова: структура пленки магнитное распыление
Авторы:
В.А. Александров - вед. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН А.А. Сердобинцев - ст. науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Аннотация:
Показана возможность получения тонких плёнок оксида ванадия на холодной аморфной подложке с аморфной или поликристаллической структурой методом магнетронного распыления; определена структура плёнки воздействием концентрированных плазменных потоков, подводимых в зону синтеза; сделан вывод о структуре растущих плёнок на основе спектров комбинационного рассеяния
Страницы: 105-106
Список источников
  1. Сидоров А. И., Виноградова О. П., Любимов В. Ю., Нащекин А. В. Синтез и модификация микро- и наностержней из оксидов ванадия // ПЖТФ. 2008. Т. 34. В. 3. С. 90-94.
  2. Александров В. А., Веселов А. Г. Магнитоактивность плёнок пермаллоя, выращенных в зоне рекомбинационного горения низкотемпературной плазмы // ЖТФ. 2008. Т. 78. В. 3. С. 101-103.