350 rub
Journal Nonlinear World №2 for 2012 г.
Article in number:
Synthesis of vanadium oxide films in a magnetron sputtering system with «torch» form of recombinating plasma zone
Keywords: structure films magnetron structure
Authors:
V.A. Alexandrov, A.A. Serdobinsev
Abstract:
It is shown an ability to obtain thin vanadium oxide films on the cold amorphous substrate with amorphous or polycrystalline structure by magnetron sputtering method. The film structure is determined by effect of concentrated plasma flow in a growth area. The conclusions about film structure are drawn on the grounds of the Raman spectrum
Pages: 105-106
References
  1. Сидоров А. И., Виноградова О. П., Любимов В. Ю., Нащекин А. В. Синтез и модификация микро- и наностержней из оксидов ванадия // ПЖТФ. 2008. Т. 34. В. 3. С. 90-94.
  2. Александров В. А., Веселов А. Г. Магнитоактивность плёнок пермаллоя, выращенных в зоне рекомбинационного горения низкотемпературной плазмы // ЖТФ. 2008. Т. 78. В. 3. С. 101-103.