350 руб
Журнал «Нелинейный мир» №5 за 2009 г.
Статья в номере:
Математическая модель для исследования погрешностей сопротивлений резисторов интегральных схем
Ключевые слова: тестовая структура математическая модель резистор интегральная схема
Авторы:
В.И. Крючатов - к.т.н., доцент, КГТУ им. А.Н. Туполева, Гл. специалист по технологии Казанского ФГУП «ФНПЦ «Радиоэлектроника» им. В.И. Шимко, Е-mail: Kryuchatov@mail.ru
Аннотация:
Предложена тестовая резистивная структура и разработана математическая модель сопротивления тонкопленочного резистора для теоретического и экспериментального исследования производственных погрешностей конструктивно-технологических параметров резистивных элементов интегральных схем, включая переходные сопротивления контактов; показано, что модель может быть использована для оптимизации технологических процессов и автоматизации статистического контроля качества, анализа и управления групповыми технологическими процессами изготовления интегральных схем с резистивными элементами, в том числе технологических процессов формирования электрических контактов
Страницы: 387
Список источников
  1. Власов В.Е., Захаров В.П., Коробов А.И. Системы технологического обеспечения качества компонентов микроэлектронной аппаратуры. М.: Радио и связь. 1987.
  2. Ермолаев Ю.П. Методы косвенного экспериментального определения погрешностей конструкторско-технологических параметров элементов аппаратуры при групповой технологии // Электронное приборостроение. Вып. 3. Казань, 1997.
  3. Спирин В.Г. Математические модели сопротивления тонкопленочного резистора с размерами 50 мкм // Технология и конструирование в радиоэлектронной аппаратуре. 2004. №2.
  4. Крючатов В.И., Насыров И.К. Расчет тонкопленочных резисторов с учетом переходного сопротивления контакта // Вестник КГТУ им. А.Н. Туполева. Казань. 1998. №1.
  5. Ермолаев Ю.П., Эльстинг О.Г., Каримова Ф.Г., Анфимов Г.П. Конструирование и расчет контактов в интегральных схемах.  Казань: КАИ. 1967.