А.А. Кондрашин1, А.Н. Лямин2, А.В. Савкин3

1–3 Института № 12 ФГБОУ ВО «Московского авиационного института  (национального исследовательского университета)» (Москва, Россия)

Постановка проблемы. В настоящее время в современном производстве изделий микро- и наноэлектроники существуют значительные потребности как в инструменте воздействия на отдельные молекулы (или группы молекул), так и в прецизионном контроле, связанном c движением атомов в молекулах, например, в процессах химических реакций. В связи с этим необходимо рассмотреть возможность и практическую реализацию перехода от нано-, пико- и фемтосекундных длительностей импульсов лазерного излучения к аттосекундным.

Цель работы – анализ состояния внедрения в производство лазеров с аттосекундными импульсами для изготовления наноэлектронных устройств.

Результаты. Проведен анализ современных методов получения аттосекунд лазерных импульсов, в том числе генерацией гармоник высокого порядка ГГВП / HHG (High Harmonic Generation). Обосновано состояние разработок по изготовлению лазеров с аттосекундными импульсами.

Практическая значимость. Показаны возможности и современное состояние получения аттосекундных лазерных импульсов для их применения в наноэлектронике.

Кондрашин А.А., Лямин А.Н., Савкин А.В. Аттосекундные лазеры – новый инструмент наноэлектроники // Нанотехнологии: разработка, применение – XXI век. 2022. T. 14. № 3. С. 56−61. DOI: https://doi.org/10.18127/j22250980-202203-07

1. Keller U. Ultrafast solid-state laser oscillators: a success story for the last20 years with no end in sight // Appl. Phys. B. 2010.  V. 100. P. 15. https://doi.org/10.1007/s00340-010-4045-3
2. Емелин М.Ю. Основы аттосекундной физики (электронное пособие). Н.Новгород: Нижегородской государственный университет им. Лобачевского. 2014. 52 с.
3. Ляньпин Х., Мохсин Х., Джон Х. Синхронизация мод и частотное смешивание при частоте повторения импульсов в ТГц в лазере с синхронизацией мод с дискретной решеткой DBR // Optics Express. 2014. V. 22. Iss. 18. P. 21690–21700.
4. Каталог продукции компании Trumpf [Электронный ресурс].  https://www.trumpf.com/ru_RU/produkcija/laser/lazer-euv-drive/ (опубликовано:2022) (дата обращения: 06.06.2022).
5. McPherson A., Gibson G., Jara H. et al. Studies of multiphoton production of vacuum-ultraviolet radiation in the rare gases //  J. Opt. Soc. Am. B. 1987. V. 4. № 4. P. 595–601.
6. Ferray M., L’Huillier A., Li X.F. et al. Multiple-harmonic conversion of 1064 nm radiation in rare gases // J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys. 1988. V. 21. № 2. P. L31–L35.
7. Аттосекундная технология: длительность импульса видимого света составляет всего 380 аттосекунд [Электронный ресурс] https://www.laserfocusworld.com/lasers-sources/article/16547115/attosecond-technology-visiblelight-pulses-are-only-380attoseconds-long (опубликовано: 2016) (дата обращения: 20.06.2022)