С.В. Чижиков1, А.Г. Гудков2, В.В. Попов3, Ю.В. Соловьёв4

1,2 МГТУ им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

3,4 АО «Светлана-Электронприбор» (Санкт-Петербург, Россия)

Постановка проблемы. Анализ современного уровня развития монолитных интегральных схем СВЧ-модулей и обобщение результатов, проведенных в этой области исследований, показал устойчивую тенденцию к ужесточению требований, предъявляемых к параметрам назначения СВЧ-модулей в монолитном интегральном исполнении в процессе эксплуатации.

Цель работы – рассмотрение нового подхода к разработке монолитных интегральных схем модулей СВЧ-диапазона, учитывающего внутренние и внешние факторы, влияющие на параметры изделия на всем его жизненном цикле.

Результаты. Предложен комплексный подход к созданию монолитных интегральных схем СВЧ-модулей, охватывающий различные этапы их проектирования, производства и эксплуатации и обеспечивающий выполнение задачи благодаря технологическому сопровождению на всех этапах жизненного цикла изделия.

Практическая значимость. Показана перспективность применения предложенного подхода в процессе создания и эксплуатации монолитных интегральных схем СВЧ-модулей.

Чижиков С.В., Гудков А.Г., Попов В.В., Соловьев Ю.В. Комплексное проектирование монолитных интегральных схем СВЧ-модулей // Нанотехнологии: разработка, применение – XXI век. 2022. Т. 14. № 1. С. 40–51. DOI: https://doi.org/10.18127/j22250980-202201-05

1. Ребров С.И., Гельвич Э.А. Об основных направлениях разработок в СВЧ приборостроении. Доклад на межведомственном совещании главных конструкторов МЭП и МРП СССР. Зеленоград, 1975.
2. Гельвич Э.А. О соотношении параметров функционально связанных приборов при их селективной стыковке. Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ. 1980. Вып. 10 (322).
3. Мурков В.И. Состояние и перспектива мирового рынка радиоэлектронной техники // Радиоэлектроника и управление. 2002. Вып.7–9. С. 21–26.
4. Алферов Ж.И. Полупроводниковая электроника в России. Состояние и перспектива развития // Электроника. Наука, технология, бизнес. 2004. № 5. С. 88–92.
5. Бушминский И.П., Кузнецов Д.И., Романов А.А., Тюхтин М.Ф. Приемные системы спутникового телевидения. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2002. 320 с.
6. Ребров С.И. Приоритетные направления развития электронной СВЧ-техники // Электронная промышленность. 2003. Вып.1. С. 3–12.
7. Верба В.С., Гандурин В.А., Трофимов А.А. Бортовая РЛС для перспективного многофункционального авиационного комплекса разведки, оповещения и управления (МАК РОУ) с цифровой АФАР // Наукоемкие технологии. 2004. Т. 5. № 8–9. С. 110–116.
8. Силкин А.Т., Чернышев М.И., Якушевский Г.Д. и др. Перспектива применения систем на кристалле в радиолокационных комплексах // Наукоемкие технологии. 2004. Вып. 8–9. С.60–65.
9. Гельвич Э.А., Котов А.С. Комплексированные изделия СВЧ: основные особенности и тенденции развития // Радиотехника. 2004. Вып. 2. С. 4–16.
10. Повышение надежности и качества ГИС и МИС СВЧ. Кн. 1 / Под ред. А.Г. Гудкова и В.В. Попова. М.: ООО «Автотест». 2012. 212 с.
11. Повышение надежности и качества ГИС и МИС СВЧ. Кн. 2 / Под ред. А.Г. Гудкова и В.В. Попова. М.: ООО «Автотест». 2013. 214 с.
12. Агасиева С.В., Гудков А.Г., Тихомиров В.Г. и др. Повышение надежности и качества ГИС и МИС СВЧ. Кн. 3 / Под ред. В.Н. Вьюгинова, А.Г. Гудкова и В.В. Попова. М.: ООО НТП «Вираж-Центр». 2016. 252 с.
13. Гудков А.Г. Радиоаппаратура в условиях рынка. Комплексная технологическая оптимизация. М.: САЙНС-ПРЕСС. 2008. 336 с.
14. Абакумов Н.В., Алыбин В.Г., Гудков А.Г. и др. Электронные устройства СВЧ. Кн. 2. / Под ред. И.В. Лебедева. М.: Радиотехника. 2008. 400 с.
15. Гудков А.Г., Попов В.В. Технологическая оптимизация ГИС и МИС дискретных аттенюаторов // Электромагнитные волны и электронные системы. 2012. Т. 17. № 11. С. 42–47.
16. Гудков А.Г. Мониторинг оптимального качества при создании наукоемких высокотехнологичных изделий // Изв. вузов. Сер. Машиностроение. 2004. № 5. С. 61–70.
17. Гудков А.Г. Формулирование принципов комплексной технологической оптимизации // Техника машиностроения. 2006.
    № 1. С. 63–72.
18. Гудков А.Г., Горлачева Е.Н. Комплексная технологическая оптимизация на этапе серийного производства // Экономика и производство. 2006. № 1. С. 44–48.
19. Гудков А.Г., Попов В.В. Взаимодействие технологических инноваций и технологической наследственности в процессе эволюционного развития технологий // Наукоемкие технологии. 2011. № 9. С. 61–69.
20. Гудков А.Г., Попов В.В. Технологическая оптимизация дискретных ГИС и МИС фазовращателей // Электромагнитные волны и электронные системы. 2012. Т.17. № 12. С. 33–39.
21. Богданов А.М., Давидович М.В., Кац Б.М. и др. Сверхширокополосные микроволновые устройства / Под ред. А.П. Креницкого и В.П. Мещанова. М.: Радио и связь. 2001.
22. Брейтон Р.К., Хэтчел Р.Д., Санджованни-Винчентелли А.Л. Обзор метод оптимального проектирования интегральных схем // ТИИЭР. 1981. Т.69. № 10.
23. Кац Б.М., Мещанов В.П., Фельдштейн А.Л. Оптимальный синтез устройств СВЧ с Т-волнами / Под ред. В.П. Мещанова. М.: Радио и связь. 1984.
24. Мещанов В.П., Тупикин В.Д., Чернышев С.Л. Коаксиальные пассивные устройства / Под общ. ред. В.П. Мещанова. Саратов: Изд.-во Саратовского ун-та. 1993.
25. Мещанов В.П., Чумаевская Г.Г. Экспериментально-расчетный метод синтеза радиотехнических устройств // Радиотехника и электроника. 1985. Т. 30. № 3.
26. Сальников А.С., Каратаев Е.П., Добуш И.М. Программа для хранения и статистического анализа результатов измерения СВЧ-монолитных интегральных схем. XXI Междунар. Крымская конф. «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо’2011). Севастополь. 12–16 сентября 2011 г.: Материалы конф. В 2 т. Т.1. С. 212–213.
27. Капралова А.А., Манченко Л.В., Пашковский А.Б. и др. Влияние особенностей сборки на характеристики мощных транзисторных усилителей. XXI Междунар. Крымская конф. «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо’2011). Севастополь, 12–16 сентября 2011 г.: Материалы конф. В 2 т. Т. 1. С. 139–140.
28. Бобров И.Н., Валуйский С.В. Методика расчета исходных данных для технико-экономической оптимизации земных станций спутниковой связи (ЗС). XXI Междунар. Крымская конф. «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо’2011). Севастополь, 12–16 сентября 2011 г.: Материалы конф. В 2 т. Т. 2. С. 339–340.
29. Бобров И.Н., Валуйский С.В. Технико-экономическая оптимизация приемопередающей системы земной станции спутниковой связи VSAT сети. XXI Междунар. Крымская конф. «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо’2011). Севастополь, 12–16 сентября 2011 г.: Материалы конф. В 2 т. Т. 2. С. 341–342.
30. Сальников А.С., Добуш И.М., Бабак Л.И. и др. Экспериментальное исследование и построение моделей пассивных компонентов СВЧ монолитных интегральных схем с учетом технологического разброса параметров / Доклады ТУСУРа-№ 2(26). Часть 2 «Электроника, Измерительная техника, Радиотехника и связь». Декабрь 2012. С. 113–118.
31. Сальников А.С., Добуш И.М., Каратев Е.П. Программное обеспечение для хранения результатов измерений СВЧ МИС и статистического анализа в составе системы INDESYS-MS / Доклады ТУСУРа-№ 2(26). Часть 2 «Электроника, Измерительная техника, Радиотехника и связь». декабрь 2012. С. 218–223.
32. Гудков А.Г., Попов В.В., Вьюгинов В.Н., Добров В.А., Мешков С.А. Гетероструктурная СВЧ-электроника в России // Электромагнитные волны и электронные системы. 2012. № 1. С. 4–9.
33. Гудков А.Г., Попов В.В., Леушин В.Ю., Вьюгинов В.Н., Королев А.В., Плющев В.А., Сидоров И.А. Электронный модуль многоканального СВЧ тракта для систем радиотермокартирования // Электромагнитные волны и электронные системы. 2014. Т. 19. № 1. С. 27–34.
34. Попов В.В., Гудков А.Г., Бирюлева Е.Г., Вартанов О.С., Волков В.В., Вьюгинов В.Н., Грозина М.И., Добров В.А., Евлампиев И.К., Зыбин А.А., Иванова В.П., Петров П.А, Савин А.М., Шаганов П.А. Монолитные интегральные устройства СВЧ // Электромагнитные волны и электронные системы. 2014. Т. 22. № 4. С. 45–59.
35. Гудков А.Г., Попов В.В., Леушин В.Ю., Мешков С.А. Применение методов комплексной технологической оптимизации при проектировании МИС СВЧ. СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии (КрыМиКо’2008): Материалы XVIII Междунар. Крымской конф. Севастополь, 2008. Том 2. С. 535–536.
36. Гудков А.Г., Попов В.В., Леушин В.Ю., Вьюгинов В.Н., Добров В.А., Мешков С.А. Учет наследственных свойств при комплексной технологической оптимизации МИС СВЧ. XXI Междунар. Крымская конф. «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо’2011). Севастополь, 12–16 сентября 2011 г.: Материалы конф. В 2 т. Т.2. С. 709.
37. Гудков А.Г. Методология комплексной технологической оптимизации параметров СВЧ-приборов на основе гетероструктур // Нанотехнологии: разработка, применение. 2019. Т. 11. № 2. С. 5–25.
38. Гудков А.Г. Комплексная технологическая оптимизация медицинской техники на всех этапах ее жизненного цикла // Биомедицинская радиоэлектроника. 2012. № 5. С. 51–61.