350 руб
Журнал «Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век» №3 за 2016 г.
Статья в номере:
Нанесение функциональных металлических тонкопленочных покрытий на ответственные детали гироскопических приборов космического назначения
Ключевые слова: тонкопленочные покрытия гироскопические приборы космическое назначение напыление хрома титановое покрытие
Авторы:
Г.Р. Сагателян - д.т.н., профессор, МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: h_sagatelyan@mail.ru А.В. Шишлов - начальник отделения, филиал ФГУП «ЦЭНКИ» - НИИ ПМ им. В.И. Кузнецова. E-mail: a.shishlov@niipm.ru В.Д. Шашурин - д.т.н., профессор, зав. кафедрой, МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: k_rl6@bmstu.ru
Аннотация:
Рассмотрено нанесение проводящих, резистивных и диэлектрических покрытий на детали гироскопических приборов космического назначения, а также химически стойких покрытий на промежуточные заготовки этих деталей на установках магнетронного напыления с планетарным движением подложки. Для минимизации отклонений от равнотолщинности тонкопленочных покрытий и повышения производительности соответствующей технологической операции предложена модернизация конструкции установки, позволяющая расширить возможности варьирования кинематическими и геометрическими факторами процесса магнетронного напыления. Приведены найденные экспериментально значения технологических факторов, обеспечивающие требуемые эксплуатационные характеристики функциональных покрытий на основе применения рекомендуемых режимов и условий напыления для таких материалов, как хром, никель, титан, медь, алюминий, композит TiAl.
Страницы: 32-36
Список источников

 

  1. Коновалов С.Ф., Пономарев Ю.А., Майоров Д.В., Подчезерцев В.П., Сидоров А.Г. Гибридные микроэлектромеханические гироскопы и акселерометры // Наука и образование: электронное научно-техническое издание. 2011. №10. http://technomag.bmstu.ru/doc/219257.html.
  2. Сагателян Г.Р., Новоселов К.Л., Шишлов А.В., Щукин С.А. Совершенствование технологического процесса изготовления пластины маятникового акселерометра // Естественные и технические науки. 2012. № 6. С. 369-376.
  3. Богданович В.И., Барвинок В.А., Кирилин А.Н. Тонкопленочные электронагреватели с наноструктурным резистивным слоем для терморегулирования бортовой аппаратуры космических аппаратов // Проблемы машиностроения и автоматизации. 2010. № 3. С. 111-117.
  4. Панфилов Ю.В. Нанесение тонких пленок в вакууме // Технологии в электронной промышленности. 2007. № 3. С. 76-80.
  5. Одиноков В.В., Павлов Г.Я. Вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических нанопленок «Магна ТМ-200-01» // Наноиндустрия. 2008. № 4. С. 10-12.
  6. Берлин Е., Двинин С., Сейдман Л. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. М.: Техносфера. 2007.
  7. Федотов А.В., Агабеков Ю.А., Мачкин В.П. Многофункциональные нанокомпозитные покрытия // Наноиндустрия. 2008. № 1. С. 24-26.
  8. Агабеков Ю.В., Сутырин А.М. Несбалансированные магнетронные распылительные системы с усиленной ионизацией плазмы // Электровакуумная техника и технология (за 1997/98 гг.). М. 1999. С. 102-108.
  9. Патент JPH03253568. Япония, МПК С23С 14/34. Carrousel type sputtering device and sputtering method / Nakajiama Koji, Yamamoto Kimisumi: UBE INDUSTRIES. 1991-11-12.
  10. Костржицкий А.И., Карпов В.Ф., Кабанченко М.П. и др. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме. М.: Машиностроение. 1991. С. 97-104.
  11. Одиноков С.Б. и др. Установка карусельного типа для магнетронного напыления многослойных покрытий и способ магнетронного напыления равнотолщинного нанопокрытия: заявка на изобретение 2015120001 РФ; заявл. 27.05.2015.