350 руб
Журнал «Наноматериалы и наноструктуры - XXI век» №1 за 2014 г.
Статья в номере:
Роль молекулярных добавок в снижении внутренних напряжений в наноструктурных пленках ЦТС, получаемых золь-гель методом
Ключевые слова: золь-гель метод ЦТС МЭМС толщина кристаллографическая ориентация полимеры поливинилпирролидон
Авторы:
П.П. Лавров - аспирант, стажер-исследователь, НОЦ «Технологический центр» МГТУ МИРЭА. Е-mail: lavrov@mirea.ru А.В. Корнюхин - аспирант, НОЦ «Технологический центр» МГТУ МИРЭА. Е-mail: lavrov@mirea.ru
Аннотация:
Представлен анализ влияния молекулярных добавок на толщину и микроструктуру наноструктурированных пленок цирконата-титоната свинца, сформированных золь-гель методом.
Страницы: 24-28
Список источников

  1. Trolier-McKinstry S., Muralt P. Thin film piezoelectrics for MEMS // Journal of Electroceramics. 2004. V. 12. № 1-2. P. 7-17.
  2. Yu Q. et al. Electrical properties of K0.5Na0.5NbO3 thin films grown on Nb:SrTiO3 single-crystalline substrates with different crystallographic orientations // Journal of Applied Physics. 2013. V. 113. № 2. P. 024101-024101-5.
  3. Du X. et al. Crystal orientation dependence of piezoelectric properties of lead zirconate titanate near the morphotropic phase boundary // Applied physics letters. 1998. V. 72. № 19. P. 2421-2423.
  4. Lett M. et al. Single-Crystal Thin Films // Science. 1996. V. 273. P. 903.
  5. Kozuka H. et al. Stress and cracks in gel-derived ceramic coatings and thick film formation // Journal of sol-gel science and technology. 2003. V. 26. № 1-3. P. 681-686.
  6. Yi G., Sayer M. Sol gel processing of thick PZT films // ISAF'92: Proceedings of the Eighth IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics. 1992. P. 289-292.
  7. Kozuka H. et al. PVP-assisted sol-gel deposition of single layer ferroelectric thin films over submicron or micron in thickness // Journal of the European Ceramic Society. 2004. V. 24. № 6. P. 1585-1588.
  8. Park G.T. et al. Piezoelectric and ferroelectric properties of 1-μm-thick lead zirconate titanate film fabricated by a double-spin-coating process // Applied physics letters. 2004. V. 85. № 12. P. 2322-2324.
  9. Yamano A., Takata K., Kozuka H. Ferroelectric domain structures of 0,4-μm thick Pb (Zr, Ti) O3 films prepared by polyvinylpyrrolidone-assisted Sol-Gel method // Journal of Applied Physics. 2012. V. 111. P. 054109.
  10. Yu S. et al. Effects of poly (ethylene glycol) additive molecular weight on the microstructure and properties of sol-gel-derived lead zirconate titanate thin films // Journal of materials research. 2003. V. 18. № 3. P. 737-741.
  11. Jia Q. X. et al. Polymer-assisted deposition of metal-oxide films // Nature Materials. - 2004. ? V. 3. № 8. P. 529-532.
  12. Du Z.H., Ma J., Zhang T.S. Densification of the PLZT Films Derived from Polymer Modified Solution by Tailoring Annealing Conditions // Journal of the American Ceramic Society. 2007. V. 90. № 3. P. 815-820.
  13. Kozuka H. et al. Crack-free, thick ceramic coating films via non-repetitive dip-coating using polyvinylpyrrolidone as stress-relaxing agent // Journal of Sol-Gel Science and Technology. 2000. V. 19. № 1-3. P. 205-209.
  14. Oh S. M., Do Y. H., Yoon S. J. Fabrication of 1 μm Thickness Lead Zirconium Titanate Films Using Poly (N-vinylpyrrolidone) Added Sol-gel Method // Trans. Electr. Electron. Mater. (TEEM). 2011. V. 12. № 5. P. 222-225.
  15. Choi J. J. et al. Sol-Gel Preparation of Thick PZN-PZT Film Using a Diol Based Solution Containing Polyvinylpyrrolidone for Piezoelectric Applications // Journal of the American Ceramic Society. 2005. V. 88. № 11. P. 3049-3054.
  16. Park G.T. et al. Piezoelectric and ferroelectric properties of 1-μm-thick lead zirconate titanate film fabricated by a double-spin-coating process // Applied physics letters. 2004. V. 85. № 12. P. 2322-2324.
  17. Du Z.H., Ma J. The effect of PVP on the critical thickness and properties of PLZT ceramic films // Journal of electroceramics. 2006. V. 16. № 4. - P. 565-569.
  18. Tyholdt F. et al. Chemically derived seeding layer for {100}-textured PZT thin films // Journal of Electroceramics. - 2007. - V. 19. - № 4. P. 311-314.
  19. Kobayashi T. et al. Effect of multi-coating process on the orientation and microstructure of lead zirconate titanate (PZT) thin films derived by chemical solution deposition // Thin Solid Films. 2005. V. 489. № 1. P. 74-78.
  20. Gong W. et al. Effect of pyrolysis temperature on preferential orientation and electrical properties of sol-gel derived lead zirconate titanate films // Journal of the European Ceramic Society. 2004. V. 24. № 10. P. 2977-2982.
  21. Jung Kim C., Jong Lee W., No K. Control of preferred orientation in sol-gel lead-zirconate-titanate film on Pt/Ti/glass substrate // Thin solid films. 1998. V. 312. № 1. P. 130-134.
  22. Law C. W. et al. Effect of pyrolysis temperature on the characteristics of PZT films deposited by the sol-gel method // Thin Solid Films. 1998. V. 335. № 1. P. 220-224.
  23. Park G.T. et al. Orientation control of sol-gel-derived lead zirconate titanate film by addition of polyvinylpyrrolidone // Journal of materials research. 2005. V. 20. № 4. P. 882-888.
  24. Sigov A.S., Vorotilov K.A., Zhigalina O.M. Effect of lead content on microstructure of sol-gel PZT structures // Ferroelectrics. 2012. V. 433. № 1. P. 146-157.