350 руб
Журнал «Наноматериалы и наноструктуры - XXI век» №3 за 2012 г.
Статья в номере:
Аморфизация поверхностного слоя металлов при имплантации ионов аргона
Ключевые слова: радиационные повреждения ионная имплантация полевая ионная микроскопия
Авторы:
В.А. Ивченко - д.ф.-м.н., профессор, Институт электрофизики Уральского Отделения РАН. Е-mail: ivchenko@iep.uran.ru
Аннотация:
Методом полевой ионной микроскопии изучена аморфизация в приповерхностном объеме металлов и сплавов при облучении пучками Ar+ c энергией до 30 кэВ. Установлено, что явление аморфизации металла в приповерхностном объеме происходит до 12 нм в глубину образца при увеличении флюенса до 1018 ион/см2.
Страницы: 3-6
Список источников
  1. Гусева М.И. Ионная имплантация в неполупроводниковые материалы // Итоги науки и техники. Серия: Физические основы лазерной и пучковой технологии. М.: ВИНИТИ. Т. 5. 1989.
  2. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / под ред. Дж. Поута, Г. Фоти и Д. Джекобсона. М.: Машиностроение. 1987.
  3. Ивченко В.А., Сюткин Н.Н., Кузнецова Л.Ю. Эффект аморфизации в приповерхностных объемах ионно-имплантированных сплавов. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. В. 13. С. 5-10.
  4. Ivchenko V.A., Syutkin N.N., Bunkin A.Yu. FIM investigation of ion-implanted Cu3Au alloy // J. de. Phys. 1988. V. 49-C6. Р. 379-383.
  5. Southworth H.N., Ralph B. // Phil. Mag. 1970. V. 21. P. 23-41.
  6. Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А., Темкин М.М. Пространственные распределения энергии выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах. М.: Энергоатомиздат. 1985.
  7. Ivchenko V.A., Medvedeva E.V. Modification of Nano­structured States in Ion_Implanted Platinum // Izvestiya Rossiiskoi Akademii Nauk. Seriya Fizicheskaya. 2010. V. 74. № 2. Р. 237-240.
  8. Boowkett K.M., Smith D.A. Field Ion Microscopy // Defects in Crystalline Solids / Edit.: S. Amelinckx, R. Gevers, J. Nihoul. North Holand Publishing Company-Amsterdam. London. 1970. V. 2.