В.А. Куфтерин1, К.С. Полиенко2, А.Т. Тунгушпаев3

1−3 АО «НПК «Системы прецизионного приборостроения» (Москва, Россия)

Постановка проблемы. В настоящее время микро-оптико-электромеханические системы (МОЭМС) или деформируемые зеркала (ДЗ) являются ключевыми элементами адаптивных систем нового поколения. Поскольку данные системы обеспечивают высокое быстродействие и точностные выходные характеристики, создание отечественных образцов адаптивных МОЭМС-устройств является актуальной задачей.

Цель. Рассмотреть технологию создания МОЭМС-устройств.

Результаты. Выбрана структура МОЭМС-датчика. Создана математическая модель в программе ANSYS и рассчитаны ее массогабаритные параметры. Выполнен расчет оптических и электрических параметров МОЭМС-устройства.

Практическая значимость. Рассмотренные устройства находят широкое применение в пространственно-временных модуляторах света, системах машинного видения, лазерных проекционных дисплеях и других информационных системах.

Куфтерин В.А., Полиенко К.С., Тунгушпаев А.Т. Технология создания микро-оптико-электромеханических систем // Информационно-измерительные и управляющие системы. 2023. Т. 21. № 3. С. 50−57. DOI: https://doi.org/10.18127/j20700814-202303-08

1. Manum H., Schmid M. Monitoring in a harsh environment (Ormen Lange gas field) // Comput. Control. Eng. 2007. № 18. Р. 22–27 [Google Scholar] [CrossRef].
2. Вассенааровские экономические санкции URL: http://wassernaar.org (дата обращения: 12.04.2022)
3. Torres D., Wang T., Zhang J., Zhang X., Dooley S., Tan X., Xie H., Seplveda N. VO2-based MEMS mirrors // J. Microelectromech. Syst. 2016. Р. 780-787 [CrossRef].
4. Korposh S., James S., Lee S.-W., Tatam R. Tapered Optical Fibre Sensors: Current Trends and Future Perspectives // Sensors. 2019. № 19. Р. 2294 [Google Scholar] [CrossRef].
5. Zamkotsian F., Lanzoni P., Barette R., Helmbreecht M., Marchis F., Teichman A. Operation of a MOEMS deformable mirror in cryo: challenges and results // Micromachines. 2017. № 8. Р. 233 [CrossRef].
6. Lobontiu N., Garcia E. Mechanics of Microelectromechanical Systems. 1st ed. Springer: New York, NY, USA. 2005. Р. 131–182. [Google Scholar]
7. Wang Y., Ma X. Optimal sensor selection for wind turbine condition monitoring using multivariate principal component analysis approach // In Proceedings of the 18th International Conference on Automation and Computing (ICAC). Leicestershire, UK. 7 September 2012 [Google Scholar].
8. Li H., Duan X., Li G., Oldham K.R., Wang T.D. An electroelastic MEMS Translational scanner with large out-of-plane stroke for remote axial-scanning in multi-photon microscopy // Micromachines. 2017. № 8. Р. 159 [CrossRef].