Е.Ю. Агу - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана E-mail: liza.kornyushina@gmail.com А.В. Челенко - аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана E-mail: apererva@yandex.ru Д.К. Никифоров - к.ф.-м.н., зам. директора, Калужский филиал Финансового университета при Правительстве РФ E-mail: dm_nikif@rambler.ru К.Г. Никифоров - д.ф.-м.н., профессор, Калужский государственный университет им. К.Э. Циолковского E-mail: kgn@kspu.kaluga.ru

Рассмотрены факторы, ограничивающие широкое применение наноструктурированных композиций на основе титана и циркония, обладающих уникальными физическими свойствами, в качестве источников электронов квантовых приборов и других изделий электронной компонентной базы. На основании проведенных аналитических исследований предложены пути разработки технологий создания наноструктур типа TiO2-Ti, TiN, ZrO2-Zr и ZrN-Zr, а также многослойных композиций на их основе.

 

1. Скипер А.В., Лазарева Н.С., Зайончковский В.С., Расторгуев И.А. Анализ омического контакта системы титан-никель с сильно легированным кремнием N‑типа // Электромагнитные волны и электронные системы. 2016. Т. 21. № 5. С. 8−10.
2. Марин В.П., Жданов С.М., Пчелинцева Н.И. Основные физические процессы, используемые в технике обеспечения высокой долговечности малогабаритных лазеров на химически активных средах // Наукоемкие технологии. 2009. Т. 10. № 11. С. 49−56.
3. Горбунов А.К., Жданов С.М., Пчелинцева Н.И., Никифоров Д.К. Получение и использование наноструктур и нанопокрытий в атомарных и молекулярных газовых лазерах средах // Наукоемкие технологии. 2014. Т. 15. № 10. С. 54−60.
4. Привалов В.Е., Фотиади А.Е., Шеманин В.Г. Лазеры и экологический мониторинг атмосферы. СПб.: Лань. 2013. 288 с.
5. Козинцев В.И., Белов М.Л., Городничев В.А., Федотов Ю.В. Лазерный оптико-акустический анализ многокомпонентных газовых смесей. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2003. 352 с.
6. Синельников А.О., Ермак Е.М., Коржавый А.П. Особенности захвата частот в лазерном гироскопе с частотной подставкой на эффекте Зеемана // Наукоемкие технологии. 2012. Т. 13. № 10. С. 40−45.
7. Хворостов В.И., Горбунов А.К., Хворостова Н.Н., Силаева Н.А. Физико-технологические особенности применения эмитирующих структур в газоразрядных лазерных датчиках // Наукоемкие технологии. 2012. Т. 13. № 10. С. 34−39.
8. Korzhavyi A.P., Kristya V.I. On the calculation of cold cathodes lifetimes for helium-neon lasers // Journal of Applied Physics. 1991. V. 70. № 9. P. 5117−5119.
9. Коржавый А.П., Марин В.П., Сигов А.С. Некоторые аспекты создания технологий и конструкций изделий квантовой электроники // Наукоемкие технологии. 2002. Т. 3. № 10. С. 40−45.
10. Коржавый А.П. Материалы с высокой устойчивостью к распылению на основе легких металлов для холодных источников электронов // Наукоемкие технологии. 2001. Т. 2. № 4. С. 29−32.
11. Пат. на изобретение РФ № 217804 приор. от 18.05.2000. Газовый лазер на тлеющем разряде / Калистратова Г.М., Казаков В.Н., Коржавый А.П. и др.
12. Бондаренко Г.Г., Коржавый А.П., Никифоров Д.К., Чистяков Г.А. Создание эффективных холодных катодов из алюминия и бериллия // Перспективные материалы. 2007. № 2. С. 23−28.
13. Бондаренко Г.Г., Коржавый А.П. Ионно-плазменное напыление алюминиевых и бериллиевых покрытий на внутренние поверхности полых цилиндрических катодов // Металлы. 1995. № 4. С. 167−171.
14. Никифоров Д.К., Коржавый А.П., Никифоров К.Г. Эмитирующие наноструктуры «металл - оксид металла»: физика и применение / Под. ред. А.П. Коржавого. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2009. 156 с.
15. Лоскутов С.А., Никифоров Д.К., Пчелинцева Н.И., Чистяков М.Г. Эффективные электроды с нанопокрытиями для малогабаритных приборов // Наукоемкие технологии. 2015. Т. 16. № 9. С. 51−55.
16. Суховский В.Н., Коржавый А.П., Кочурихин В.Е. Нитриды переходных металлов - перспективные материалы для долговечных пленочных катодов // Электронная техника. Сер. 6. Материалы. 1989. № 6. С. 70−73.
17. Ньен Чан. Пленочные холодные катоды для современных гелий-неоновых лазеров // Наукоемкие технологии. 2014. Т. 15. № 10. С. 26−29.
18. Коржавый А.П., Марин В.П., Яранцев Н.В. Перспективные ленточные металлические материалы для электронной техники // Наукоемкие технологии. 2001. Т. 2. № 4. С. 50−56.
19. Коржавый А.П. Марин В.П., Яранцев Н.В. Технологии горячего и холодного плакирования в приборостроении // Наукоемкие технологии. 2003. Т. 4. № 2. С. 26−37.
20. Коржавый А.П., Шаталов В.К. Микородуговое оксидирование в технике создания эмитирующих наноструктур лазерных газоразрядных датчиков // Электромагнитные волны и электронные системы. 2016. Т. 21. № 1. С. 78−84.
21. Пат. на изобретение РФ № 2199789 приор. от 08.04.2003. Способ изготовления активного элемента гелий-неонового лазера с холодным катодом / Киселёва Л.И., Крютченко О.Н., Степанов В.А., Чиркин М.В.
22. Защитные покрытия для электронной промышленности. Технологиии и оборудование фирмы Rehm Thermal Systems GmbH. URL = www.rehm-group.com (05.09.2016). E-mail: info@rehm-group.