А.П. Коржавый - д.т.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: fn2kf@list.ru В.К. Шаталов - д.т.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: vkshatalov@yandex.ru

Описана техника получения и исследования наноструктур с заданным микрорельефом на обращенной к плазме разряда ди-электрической эмитирующей поверхности. В выполненных исследованиях использованы микродуговое оксидирование исходной титановой подложки (образца) и возможности атомно-силовой микроскопии. Предложены многослойные эмитирующие наноструктуры лазерных газоразрядных датчиков для современных электронных систем лазерной навигации.

 

1. Никифоров Д.К., Коржавый А.П., Никифоров К.Г. Эмиттирующие наноструктуры «металл-оксид металла»: физика и применение. / Под ред. А.П. Коржавого. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2009. 156 с.
2. Пат. RUS 2175804 18.05.2000. Газовый лазер на тлеющем разряде. Калистратова Г.М., Казаков В.Н., Коржавый А.П., Мареева З.Г., Мартынова Т.Ф., Фомичев А.А., Чистяков Г.А.
3. Пат. RUS 2126185. Способ оценки качества холодных катодов. Голяев Ю.Д., Колбас Ю.Ю., Коржавый А.П., Маш Л.Д., Пролейко Э.П., Шитова Н.А.
4. Пат. RUS 2119218. Газовый моноблочный лазер. Демиденков Ю.В., Казаков В.Н., Калистратова Г.М., Колбас Ю.Ю., Коржавый А.П., Пролейко Э.П., Скроцкая Н.М., Скроцкий С.Г., Шитова Н.А.
5. Пат. RUS 2009586. Гелий-неоновый лазер. Прасицкий В.В., Коржавый А.П., Лищук Н.В., Рожанец А.В.
6. Коржавый А.П., Марин В.П., Сигов А.С.Некоторые аспекты создания технологий и конструкций изделий квантовой электроники // Наукоемкие технологии. 2002. Т. 3. № 4. С. 20.
7. Синельников А.О., Ермак Е.М., Коржавый А.П. Особенности захвата частот в лазерном гироскопе с частотной подставкой на эффекте Зеемана // Наукоемкие технологии. 2012. Т. 13. № 10. С. 40−45.
8. Хворостов В.И., Коржавый А.П., Пролейко Э.П. Взаимозависимости основных параметров холодных катодов и технологических режимов обработки в моноблочных гелий-неоновых лазерах // Наукоемкие технологии. 2012. Т. 13. № 10. С. 46−52.
9. Бондаренко Г.Г., Коржавый А.П., Гаценко В.П., Марин В.П.Оксидные пленки на поверхности металла: современное состояние исследований и проблемы практического использования // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. 2008. Т. 8. № 1. С. 170−176.
10. Bondarenko G.G., Korzhavyi A.P.Influence of surface oxidation on the structure and properties of cold metal cathodes // Russian Physics Journal. 2007. Т. 50. № 2. С. 125−133.
11. Пролейко Э.П., Коржавый А.П. Определение качества и срока службы холодных катодов на основе эмиттирующих структур «металл-диэлектрик» // Наукоемкие технологии. 2010. Т. 11. № 11. С. 22−28.
12. Бондаренко Г.Г., Коржавый А.П.Ионно-плазменное напыление алюминиевых и бериллиевых покрытий на внутренние поверхности полых цилиндрических катодов // Металлы. 1995. № 4. С. 167.
13. Ньейн Чан. Пленочные холодные катоды для современных гелий-неоновых лазеров // Наукоемкие технологии. 2014. Т. 15. 660. С. 26−30.
14. Коржавый А.П.Материалы с высокой устойчивостью к распылению на основе легких металлов для холодных источников электронов // Наукоемкие технологии. 2001. Т. 2. № 4. С. 29−32.
15. Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Влияние оксидной пленки на поверхности катода на энергетические распределения ионов и быстрых атомов в тлеющем разряде // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2015. № 3. С. 74−80.
16. Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Моделирование влияния диэлектрической пленки на поверхности электрода на переход тлеющего разряда в дуговой// Известия РАН. Сер. Физическая. 2014. Т. 78. № 6. С. 753−757.
17. Кристя В.И., Йе Наинг Тун. Расчет вклада ионов и быстрых атомов в неоднородность распыления мишени с поверхностным рельефом в тлеющем разряде // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2014. № 3. С. 68−73.
18. Гордиенко П.С., Гнеденков С.В. Микродуговое оксидирование титана и его сплавов. Владивосток: Дальнаука. 1997. 179 с.