350 руб
Журнал «Электромагнитные волны и электронные системы» №1 за 2006 г.
Статья в номере:
Методика измерения параметров тонких полупроводниковых пленок на подложках из высокоомного полупроводника с помощью миллиметровых волн
Авторы:
Любченко В. Е., Мериакри В. В., Чигряй Е. Е.
Аннотация:
Описана новая методика неразрушающего измерения комплексного коэффициента преломления тонких полупроводниковых пленок на подложках из высокооомных полупроводников с помощью миллиметровых волн.