А.С. Белов – первый зам. ген. директора, 

АО «НПО «Радиоэлектроника» им. В.И. Шимко

E-mail: fnpcshimko@mail.ru

В.И. Крючатов – д.т.н., доцент, нач. лаборатории отдела гл. технолога, 

АО «НПО «Радиоэлектроника» им. В.И. Шимко

E-mail: kryuchatov1948@mail.ru

Проведено экспериментальное исследование физики отказа резисторов, на основе которого разработаны конструкция, технология изготовления и методика расчета согласованных тонкопленочных резистивных нагрузок, надежно работающих при воздействии импульсной СВЧ-мощности до 2…5 кВт при размерах от 2х2 до 4х8 мм, что позволило обеспечить заданные  габаритные размеры СВЧ-устройств.

1. Крючатов В.И., Насыров И.К. Исследование предельной импульсной мощности рассеяния резистивных пленок на подложках СВЧ интегральных схем // Вестник КГТУ им. А. Н. Туполева (г. Казань). 1998. № 2. С. 19–22.
2. Тишер Ф. Техника измерений на сверхвысоких частотах. Справочное руководство / Пер. с нем. под ред. В.Н. Сретенского. М.: Физматгиз. 1963.
3. Справочник по расчету и конструированию СВЧ полосковых устройств / Под ред. В.И. Вольмана. М.: Радио и связь. 1982.
4. Коледов Л.А., Волков В.А., Докучаев Н.И. и др. Конструирование и технология микросхем: Учеб. пособие / Под ред. Л.А. Коледова. М.: Высшая школа. 1984.
5. Крючатов В.И. Применение персонального компьютера для расчета прецизионных резистивных элементов интегральных схем по методике, учитывающей контактные сопротивления // Вестник КГТУ им. А. Н. Туполева (г. Казань). 2007. № 1.  С. 33–37.
6. Крючатов В.И. Экспериментальное исследование технологических погрешностей и контактных сопротивлений тонкопленочных резистивных структур // Вестник КГТУ им. А. Н. Туполева (г. Казань). 2010. № 1. С. 48–53.