А.С. Белов – первый зам. ген. директора, 

АО «НПО «Радиоэлектроника» им. В.И. Шимко

E-mail: fnpcshimko@mail.ru

В.И. Крючатов – д.т.н., доцент, нач. лаборатории отдела гл. технолога, 

АО «НПО «Радиоэлектроника» им. В.И. Шимко

E-mail: kryuchatov1948@mail.ru

Проведен теоретический анализ теплового режима работы тонкопленочных согласованных резистивных нагрузок при  воздействии импульсной СВЧ-мощности для резисторов из хрома и тантала на поликоровых и ситалловых подложках. Выявлены причины отказа резисторов. Даны рекомендации по проектированию тонкопленочных резистивных нагрузок с  повышенной предельной импульсной мощностью.

1. Крючатов В.И., Насыров И.К. Исследование предельной импульсной мощности рассеяния резистивных пленок на подложках СВЧ интегральных схем. Вестник КГТУ им. А. Н. Туполева. Казань. 1998. № 2. С. 19–22.
2. Дульнев Г.Н., Семяшкин Э.М. Теплообмен в радиоэлектронных аппаратах. М.: Энергия. 1968.
3. Справочник по расчету и конструированию СВЧ полосковых устройств. Под ред. В.И. Вольмана. М.: Радио и связь. 1982.
4. Розбери Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии. Под ред. Р.А. Нилендера. М.: Энергия. 1972.
5. Физический энциклопедический словарь. Гл. редактор Б.А. Введенский. М.: Советская энциклопедия. 1966. Т. 5.
6. Коледов Л.А., Волков В.А., Докучаев Н.И. и др. Конструирование и технология микросхем: Учеб. пособие. Под ред. Л.А. Коледова. М.: Высшая школа. 1984.
7. РД 107.460084.200–88 Микросборки. Общие требования и нормы конструирования. М.: Изд-во стандартов. 1988.
8. Кузьмин А.Н., Насыров И.К. Конструктивно-технологические вопросы проектирования мощных пленочных диссипативных элементов СВЧ диапазона. Электронное приборостроение. Казань. 1997. Вып. 3. С. 32–39.
9. Авт. свид. № 1552266 (СССР). Микрополосковая нагрузка. Исхаков И.Х., Кузьмин А.Н., Варнин В.П. и др. Заявл. 20.01.88. Опубл. 23.03. 90. Бюл. № 11.
10. Физический энциклопедический словарь. Гл. редактор Б.А. Введенский. М.: Советская энциклопедия. 1966. Т. 2.
11. Шварц М., Берри Р.У. Физика тонких пленок. В 2-х томах. Пер. с англ. под ред. Г. Хасса. М.: Мир. 1972. Т. 2.
12. Патент № 2339103 РФ. Резистор с повышенной мощностью рассеяния и способ его изготовления. Крючатов В.И. Заявл. 17.07.2007. Опубл. 20.11.2008. Бюл. № 32.