А.Р. Бестугин – д.т.н., профессор, директор института радиотехники, электроники и связи, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения

О.М. Филонов – к.т.н., доцент, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения

Н.А. Овчинникова – к.т.н., доцент, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения

И.А. Киршина – к.э.н., доцент, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения П.А. Окин - аспирант, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения E-mail: fresguap@mail.ru

Рассмотрена усовершенствованная методика расчета добротности микромеханических резонаторов, применяемых в качестве вторичных измерительных преобразователей в МЭМС с частотно-модулированным выходным сигналом. На основе решения уравнения термоупругости для данной колебательной системы найдено распределение температуры в объеме резонатора, что позволяет рассчитать термоупругую компоненту внутреннего трения в балке и получить уточненное значение добротности.

1. Бидерман В.А. Теория механических колебаний. М.: Высшая школа. 1980.
2. Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микроэлектроники. М.: Мир. 1985.
3. Hamed Sadeghian, Hans Goosen, Andre Bossche, Barend Thijsse, Fred van Keulen On the size-dependent elasticity of silicon nanocantilevers: impact of defects // Journal of Physics D: Applied Physics. IOP Publishing. 2011. № 44 (7). P. 72001.
4. Пономарев С.Д., Андреева Л.Е. Расчет упругих элементов машин и приборов. М.: Машиностроение. 1980. 
5. Bishop J.E., Kinra V.K. Elastothermodynamic damping of laminated beam in flexure and extension // J. Appl. Mech. 1995. № 62(2). P. 441–449. doi: 10.1115/1.2895950
6. Chawla K. Composite materials science and engineering. Springer Science & Business Media. 1998.