А.Р. Бестугин – д.т.н., профессор, директор Института радиотехники, электроники и связи,
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
О.М. Филонов – к.т.н., доцент, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
И.А. Киршина – к.э.н., доцент, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
П.А. Окин – аспирант, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
E-mail: fresguap@mail.ru
Исследованы задачи, связанные с уменьшением дрейфа основной частоты микромеханических резонаторов, обусловленных их разогревом в процессе работы из-за неизбежной диссипации кинетической энергии в упругом элементе термоупругим внутренним трением. Для математического описания термоупругого внутреннего трения в работе использована модель К. Зенера, соответствующая стандартному линейному телу. Показано, что уменьшение дрейфа, а, следовательно, и погрешности МЭМС в целом, может быть достигнуто понижением температуры в точках крепления резонатора к чувствительному элементу МЭМС.
- Карслоу Г., Егер Д. Теплопроводность твердых тел. М.: Наука. 1964.
- Рыкалин Н.Н. Расчеты тепловых процессов при сварке. М.: Озон. 2012.
- Митрофанов В.П. Колебательные системы с малой диссипацией. М.: МГУ. 2010.