А.Р. Бестугин – д.т.н., профессор, директор Института радиотехники, электроники и связи,
Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
Л.В. Белова – аспирант, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения;
инженер-конструктор АО «ВНИИРА» (г. Санкт-Петербург)
E-mail: belova-lilia@rambler.ru
Исследованы основные механизмы потери энергии: воздушное затухание, акустические потери якоря, термоупругое демпфирование и внутреннее трение. Для каждого источника потери энергии на примере балочного резонатора, с заданными
геометрическими параметрами, построены зависимости от нескольких параметров и рассмотрены методы определения численных значений. Приведены рекомендации по выбору параметров резонатора при проектировании электронных устройств.
- Бестугин А.Р., Белова Л.В. Эквивалентная электромеханическая модель дискового резонатора // Успехи современной
радиоэлектронники. 2016. № 11. С. 253–259. - Емельянов А.В., Емельянов И.А., Зенкина И.А. Уравнение Рейнольдса для тонкого слоя вязкой среды // Иновационная наука. 2016. № 11–3.
- Jay Brotz Damping in CMOS-MEMS Restorans. Carnegie Mellon University. 2004.
- Шахнович И. МЭМС–гироскопы – единство выбора // Электронника. Наука. Технология. Бизнес. 2007. № 1. С. 76–95.
- Второшин С.Е., Нестеренко Т.Г. Модальный анализ деформации микроструктур резонанского микроэлектронного акселерометра //Фундаментальные исследования 2015. № 2. С. 2553–2557.
- Материалы в приборостроении и автоматике: Справочник / Под ред. Ю.М. Пятина. М.: Машиностроение. 1982.
- Mahesh Angira, Sundaram G.M., Kamaljit Rangra A Novel Approach for Low Insertion Loss, Multi-band, Capacitive Shunt RF–MEMS Switch // Wireless Personal Communications. 2015. V. 83. № 3. P. 2289–2301.