А.Р. Бестугин - д.т.н., профессор, директор, Институт радиотехники, электроники и связи, ФГАОУ ВО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения (ГУАП) О.М. Филонов - к.т.н., доцент, ФГАОУ ВО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения (ГУАП) И.А. Киршина - к.э.н., доцент, ФГАОУ ВО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения (ГУАП) Н.А. Овчинникова - к.т.н., доцент, ФГАОУ ВО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения (ГУАП) П.А. Окин - аспирант, ФГАОУ ВО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения (ГУАП) Е.В. Андреева - аспирант, ФГАОУ ВО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения (ГУАП) E-mail: fresguap@mail.ru

Приведены результаты теоретических исследований технологий удаления неуравновешенных масс с поверхности микрозеркал, входящих в состав оптических модуляторов систем оптической связи. Проведен сравнительный анализ лазерной и ионно-лучевой технологий экстрагирования сверхмалых масс вещества. Показано, что обе технологии могут применяться в одном технологическом процессе, позволяя добиться оптимальных, с точки зрения функционирования светомодулятора, результатов.

 

1. Бестугин А.Р., Филонов О.М., Киршина И.А., Окин П.А., Андреева Е.В. Параметрическая коррекция микромеханических зеркал систем оптической связи // Успехи современной радиоэлектроники. 2015. № 10. С. 183-187.
2. Стельмах М.Ф. Лазеры в технологии. М.: Энергия. 1985.
3. Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. Пер. с англ. М.: Мир. 1985.