А.Р. Бестугин - д.т.н., профессор, декан, факультет «Радиотехника, электроника и связь», ФГАОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения» О.М. Филонов - к.т.н., доцент, кафедра «Конструирование и технологии электронных и лазерных средств», ФГАОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения» И.А. Киршина - к.э.н., доцент, кафедра «Конструирование и технологии электронных и лазерных средств», ФГАОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения» П.А. Окин - аспирант, ФГАОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения» Е.В. Андреева - магистр, ФГАОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения». E-mail: zlata@aanet.ru

Рассмотрена структура алгоритма проведения операции параметрической коррекции (статического уравновешивания) микро-зеркал с торсионными подвесами для систем оптической связи. Исследована процедура нахождения области локализации неуравновешенной массы в объеме зеркала, методика расчета ее величины и технологическое обеспечение процесса ее экстрагирования сфокусированным ионным пучком.

 

1. Бестугин А.Р., Киршина И.А., Филонов О.М. Микро- и наноэлектромеханические резонаторы - функциональные компонен- ты перспективных систем обработки и передачи сигналов // Успехи современной радиоэлектроники.    Радиотехника. 2014. № 12. С.42-44.
2. Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии / Пер. с англ. М.: Мир.1985.