350 руб
Журнал «Успехи современной радиоэлектроники» №4 за 2014 г.
Статья в номере:
Методы контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных высокоточных оптических элементов
Ключевые слова: интерферометр метрология оптическая поверхность крупногабаритная оптика шероховатость волновой фронт спектральная плотность мощности
Авторы:
Н. В. Барышников - д.т.н., зав. кафедрой РЛ2, МГТУ им. Н. Э. Баумана. E-mail: baryshnikov@bmstu.ru Я. В. Гладышева - аспирант, инженер, МГТУ им. Н. Э. Баумана. E-mail: yanagladysheva@gmail.com Д. Г. Денисов - к.т.н., доцент, МГТУ им. Н. Э. Баумана. E-mail: denisov_dg@mail.ru И. В. Животовский - к.т.н., доцент, МГТУ им. Н. Э. Баумана. E-mail: ivj@bmstu.ru
Аннотация:
Представлен метод контроля качества крупногабаритных оптических деталей с качеством поверхности нанометрового уровня на широком пространственно-частотном диапазоне в вибрационных условиях производства. Рассмотрены основные особенности методов и схем интерференционного контроля высокоточных оптических поверхностей.
Страницы: 48-52
Список источников

 

  1. Abdulkadyrov, M. A., Belousov, S. P., Alexandr N. Ignatov // Manufacturing of primary mirrors from Sitall CO-115M for European projects TTL, NOA and VST // Proc. of SPIE. 2009. V. 7390.
  2. Абдулкадыров М. А. и др. Неравноплечий ИК-интерферометр Тваймана-Грина для контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных оптических деталей на стадии шлифования // Оптический журнал. 2010. № 1.
  3. Международный стандарт 10110 - 1. Оптика и оптические приборы. Правила оформления чертежей оптических элементов и систем. 1996.
  4. Beckmann, P., Spizzichino, A., The Scattering of Electromagnetic Waves from Rough Surface. Norwood: Pergamon Press, ARTECH HOUSE. 1987.
  5. Intellium - H2000 Overview // http://esdimetrology.com/p/fizeau/intellium_h2000.html
  6. Барышников Н. В., Гладышева Я. В., Денисов Д. Г., Животовский И. В., Патрикеев В. Е., Судариков И. Н.Исследование интерференционных методов контроля формы и качества высокоточных поверхностей крупногабаритных оптических деталей // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. Спецвыпуск. Современныепроблемыоптотехники. 2012.
  7. Chiayu Ai, Wyant, J. С., Absolute testing of flats by using even and odd functions. Applied optics, 1993. V. 32, 25.