350 руб
Журнал «Успехи современной радиоэлектроники» №5-6 за 2004 г.
Статья в номере:
Инструменты нанотехнологии: состояние и перспективы развития
Авторы:
Быков В. А., В. Н. Рябоконь.
Аннотация:
Представлено текущее состояние, направления и перспективы разработок инструментов нанотехнологии на основе сканирующих зондовых устройств. Рассмотрены сканирующие зондовые микроскопы, зондовые лаборатории и зондовые фабрики. Приводятся примеры отечественных разработок зондовых приборов.