350 rub
Journal Achievements of Modern Radioelectronics №5-6 for 2004 г.
Article in number:
Authors:
Быков В. А., В. Н. Рябоконь.
Abstract:
Представлено текущее состояние, направления и перспективы разработок инструментов нанотехнологии на основе сканирующих зондовых устройств. Рассмотрены сканирующие зондовые микроскопы, зондовые лаборатории и зондовые фабрики. Приводятся примеры отечественных разработок зондовых приборов.