350 rub
Journal №1 for 2012 г.
Article in number:
Particular qualities of technological compatibility of the layered heterostructures deposition on the basis of nano sized carbon and perovskite films
Keywords: heterostructure perovskite ferroelectric films diamond-like films HF-deposition Passivation coating polyparaxylylen
Authors:
M.S. Afanasev, P.A. Luchnikov, A.Yu. Mityagin, А.А. Nazarenсo, G.V. Chucheva
Abstract:
Technological principles of layered heterostructures deposition on the basis of inorganic perovskite and carbon materials are considered. Optimum technological conditions of compatibility of film layers deposition of heterostructures are defined. It is shown that in oxygen atmosphere at temperature of a substrate not exceeding 620 °С the film of barium-titanata-strontium with steady stoichiometry structure which has ferroelectric properties is formed. Passivation of obtained heterostructures by polymer coatings on the basis of polyparaxylylen is discussed.
Pages: 29-37
References
  1. Мухортов В.М., Юзюк Ю.И. Гетероструктуры на основе наноразмерных сегнетоэлектрических пленок: получение, свойства и применение. Ростов на Дону: ЮНЦ РАН. 2008.
  2. Воротилов К.А., Мухортов В.М., Сигов А.С. Интегрированные сегнетоэлектрические устройства / под ред. А.С. Сигова. М.: Энергоатомиздат. 2011.
  3. Афанасьев М.С., Митягин А.Ю., Чучева Г.В. Перестраиваемая линия задержки СВЧ-диапазона на основе сегнетоэлектрических и алмазных пленок. // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 2010. Т. 87. № 3. С. 3-6.4.
  4. Иванов В.И., Лучников П.А., Сигов А.С. Ионные технологии в производстве изделий электронной техники / под ред. А.С. Сигова. М.: Энергоатомиздат. 2010.
  5. Афанасьев М.С., Иванов М.С. Особенности формирования тонких сегнетоэлектрических пленок BaxSr1-xTiO3 на различных подложках методом высокочастотного распыления // ФТТ. 2009. Т.51. № 7. С. 1259-1262.
  6. Лучников П.А, Лучников А.П., Сигов А.С., Топоров Ю.П. Стабилизация структуры и релаксация электретного заряда в вакуумных пленках поли-n-ксилилена / Межфазная релаксация в полиматериалах // Материалы международной НТК «ПОЛИМАТЕРИАЛЫ - 2003» (25-29 ноября 2003 г., Москва). М.: МИРЭА. 2003. Ч. 1. С. 234-239.
  7. Кардаш И.E., Пебалк А.В, Праведников A.H. Применение поли-п-ксилиленов // Химия и технология высокомолекулярных соединений. М.: ВИНИТИ АН СССР. Сер. Итоги науки и техники. 1984. Т. 19. С. 66-150.
  8. Маилян К.А., Пебалк А.В., Мишина Е.И., Кардаш И.Е. Физико-механические свойства и морфология поверхности пленок поли-п-ксилилена // Высокомолекулярные соединения А. 1991. Т. 33. № 7. С. 1530.
  9. Лущейкин Г.А., Пебалк А.В., Маилян К.А., Кардаш И.Е. Диэлектрические свойства и релаксационные явления в поли (хлор-паракси¬лилене) / Тонкие пленки и слоистые структуры // Материалы международной научно-технической конференции «ПЛЕНКИ-2002» (26-30 ноября 2002 г., Москва). М.: МИРЭА. 2002. Ч. 2. С. 58-50.