Методика контроля качества функционирования системы управления калибровкой эталонных мер нанометрии
- 1,2,3 МИРЭА – Российский технологический университет (Москва, Россия)
Аннотация
Постановка проблемы. В основу решения задачи контроля качества функционирования системы управления калибровкой эталонных мер нанометрии положена аппроксимация данной системы когнитивной моделью и соответствующая этой модели методика, предполагающая априорное установление граничных значений показателей качества с последующей оценкой их реальных значений и сопоставления с граничными значениями.
Цель. Разработать методику контроля качества функционирования системы управления калибровкой эталонных мер нанометрии.
Результаты. Рассмотрена система управления калибровкой эталонных мер нанометрии. Определены функции структурных элементов и их показатели эффективности. Приведена методика контроля качества функционирования рассмотренной системы.
Практическая значимость. Использование методики контроля качества функционирования системы управления процессами калибровки эталонных мер обеспечило возможность достижения точности измерения высоты эталонной меры, сопоставимой с точностью метода интерферометрии.
- Поступила
- 01.12.2021
- Одобрена
- 14.12.2021
- Принята
- 17.01.2022
Для цитирования
Анцыферов С.С., Фазилова К.Н., Русанов К.Е. Методика контроля качества функционирования системы управления калибровкой эталонных мер нанометрии // Наукоемкие технологии. 2022. Т. 23. № 1. С. 29−34. DOI: https:// doi.org/10.18127/j19998465-202201-04
Список источников
- Анцыферов С.С., Фазилова К.Н., Русанов К.Е. Стандартизация показателей неравновесной устойчивости когнитивных систем // Наукоемкие технологии. 2017. Т. 18. № 5. С. 15–20.
- Анцыферов С.С., Фазилова К.Н., Русанов К.Е. Оценка неравновесной устойчивости когнитивных систем // Наукоемкие технологии. 2018. Т. 19. № 11. С. 14–19.
- Анцыферов С.С., Фазилова К.Н. Методика оценки эффективности структурных элементов когнитивных систем в реальном масштабе времени // Нелинейный мир. 2020. Т. 18. № 3. С. 33–41.
- Antsyferov S.S., Fazilova K.N., Rusanov K.E. Method for controlling the cognitive systems functioning in non-equilibrium stability mode. Journal of Physics: Conference Series. 2020. V. 1679. Iss. 3. P. 032068.
- Antsyferov S.S., Karabanov D.A., Fazilova K.N., Rusanov K.E. Reference gage calibration methods of probe nanometry systems. Journal of Physics: Conference Series. 2021. V. 1889. Is. 4. P. 042034.