Резонансный метод контроля СВЧ-потерь и технологических параметров при изготовлении микрополосковых устройств радиоэлектронного приемника
- 1 д.т.н., вед. науч. сотрудник, ОАО «ГСКБ «Алмаз-Антей»
Ключевые слова:
микрополосковая линияСВЧ-потериинтегральные микросхемытехнология изготовления интегральных микросхемрезонансный методтехнология нанесения тонких пленокконтроль
Аннотация
Разработан способ определения составляющих СВЧ-потерь в микрополосковых линиях передач. Предложен объективный метод контроля по выбору оптимальных технологических параметров при изготовлении тонкопленочных элементов микрополосковых СВЧ-устройств радиолокационного приемника.
Для цитирования
Арешкин А.А. Резонансный метод контроля СВЧ-потерь и технологических параметров при изготовлении микрополосковых устройств радиоэлектронного приемника // Наукоемкие технологии. 2014. № 4. С. 54–61.
Список источников
- Малорацкий Л.Г., Явич Л.Р. Проектирование и расчет СВЧ элементов на полосковых линиях. М.: Сов. радио. 1972.
- А.с. 716380 (СССР). Устройство для контроля характеристик материалов и технологических процессов при изготовлении микрополосковых элементов / Арешкин А.А., Афанасьев А.А., Баулина И.Н. / Заявлено 15.06.78.