Оценка прочностных характеристик бескорпусных МЭМС

П.И. Дидык; А.А. Жуков

Оценка прочностных характеристик бескорпусных МЭМС

П.И. Дидык¹, А.А. Жуков²

научная статья Страницы: 19-24

¹ д.т.н., доцент, нач. отдела, ОАО «Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем»
² инженер-исследователь, ОАО «Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем»

Ключевые слова: бескорпусные МЭМС прочность конструкции физико-механические свойства моделирование конструкции

Аннотация

Предложена методика оценки прочностных характеристик бескорпусных МЭМС. Методика включает в себя оценку прочности конструкции с использованием физической модели, моделирование и выявление «слабых» мест конструкции под действием внешних воздействий в САПР ANSYS. Проведена оценка физико-механических характеристик конструкции, выполненной на основе монокристаллического кремния, к которой привариваются или припаиваются шины-выводы

Для цитирования

Дидык П.И., Жуков А.А. Оценка прочностных характеристик бескорпусных МЭМС // Наукоемкие технологии. 2012. № 2. С. 19–24.

Список источников

Lepselter M.P., Waggener H. A., MacDonald R. W. Beam-Lead Devices and Integrated Circuits // Proceedings of the IEEE. 1965. V. 53. № 4. P. 405.
Чувствительные элементы МЭМС. http://www.scribd.com/doc/36883702/
MEMS accelerometers. http://www.memsuniverse.com/mems-accelerometers/
Magnetostrictive canteliver. http://www.memsuniverse.com/magnetostrictive-cantilever/
Heatuator in MEMS. http://www.memsuniverse.com/mems_heatuator-wmv/
Dragoi V., Farrens S., Linder P. Tried and test bonding for MEMS // European Semiconductor. 2005. V. 27. № 11. P. M16-M18.
Борисов В.Ф., Лавренов О.П., Назаров А.С., Чекмарев А.Н. Конструирование радиоэлектронных средств / под. ред. А.А. Назарова. М.: МАИ. 1996.
Vibratory Reed Device (MEMS), US Patent 3,609,593; issued 1971.
Моделирование прочностных характеристик в САПР ANSYS [Электронный ресурс]: модели и инструменты для решения задач механики твердого тела. 2009. http://www.ansys.ru/index.php-option=com_content&task=view&id=14&Itemid=25.
Yazdi, N., Ayazi, F. and Najafi, K. Micromachined inertial sensors // Proc. IEEE. 1998. V.86. № 8. P.1640 - 1659.
Распопов В.Я. Микромеханические приборы: учебное пособие. М.: Машиностроение. 2007.
Варадан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение. М.: Техносфера. 2004.

[1] Lepselter M.P., Waggener H. A., MacDonald R. W. Beam-Lead Devices and Integrated Circuits // Proceedings of the IEEE. 1965. V. 53. № 4. P. 405.

[2] Чувствительные элементы МЭМС. http://www.scribd.com/doc/36883702/

[3] MEMS accelerometers. http://www.memsuniverse.com/mems-accelerometers/

[4] Magnetostrictive canteliver. http://www.memsuniverse.com/magnetostrictive-cantilever/

[5] Heatuator in MEMS. http://www.memsuniverse.com/mems_heatuator-wmv/

[6] Dragoi V., Farrens S., Linder P. Tried and test bonding for MEMS // European Semiconductor. 2005. V. 27. № 11. P. M16-M18.

[7] Борисов В.Ф., Лавренов О.П., Назаров А.С., Чекмарев А.Н. Конструирование радиоэлектронных средств / под. ред. А.А. Назарова. М.: МАИ. 1996.

[8] Vibratory Reed Device (MEMS), US Patent 3,609,593; issued 1971.

[9] Моделирование прочностных характеристик в САПР ANSYS [Электронный ресурс]: модели и инструменты для решения задач механики твердого тела. 2009. http://www.ansys.ru/index.php-option=com_content&task=view&id=14&Itemid=25.

[10] Yazdi, N., Ayazi, F. and Najafi, K. Micromachined inertial sensors // Proc. IEEE. 1998. V.86. № 8. P.1640 - 1659.

[11] Распопов В.Я. Микромеханические приборы: учебное пособие. М.: Машиностроение. 2007.

[12] Варадан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение. М.: Техносфера. 2004.

Аннотация

Для цитирования

Похожие статьи