ДЕТЕКТИРОВАНИЕ МИЛЛИМЕТРОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА МОДИФИЦИРОВАННЫХ ТОНКИХ ПЛЁНКАХ V, ВЫРАЩЕННЫХ В ПОТОКАХ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ
- 1,2,3 Саратовский филиал института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН VeselovaLP @info.sgu.ru
Ключевые слова:
детектирование миллиметрового излучениямодификация материаловпотоковая низкотемпературная плазма
Аннотация
Показана возможность модификации тонких плёнок V в концентрированных потоках низкотемпературной плазмы с помощью изменения условий роста в магнетронной распылительной системе на постоянном токе. Установлено, что контакт модифицированных различным образом плёнок V детектирует СВЧ-излучение, чувствительность экспериментальных образцов составила до 40 мВ/Вт в диапазоне 60 дБ.
Для цитирования
АЛЕКСАНДРОВ В.А., СЕРДОБИНЦЕВ А.А., ВЕСЕЛОВ А.Г. ДЕТЕКТИРОВАНИЕ МИЛЛИМЕТРОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА МОДИФИЦИРОВАННЫХ ТОНКИХ ПЛЁНКАХ V, ВЫРАЩЕННЫХ В ПОТОКАХ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ // Наукоемкие технологии. 2011. № 2. С. 34–36.
Список источников
- Сердобинцев А.А., Бурылин Е.И., Веселов
А.Г., Кирясова О.А., Джумалиев А.С. // ЖТФ. 2008. Т. 78. Вып. 3.
С. 83 - 85. - Александров В.А., Веселов А.Г., Кирясова О.А., Сердобинцев А.А. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 8.
- Веселов А.Г., Рябушкин С.Л., Шуллер И.Я. // Письма
в ЖТФ. 1992. Т.18. Вып.11. - Helmersson U., Lattemann M., Bohlmark J., Ehiasarian A.P., Gudmundsson J.T. // Thin Solid Films. 2006. 513 (1 - 2). P. 1 - 24.
- Siegel P.H. THz technology: an overview // Intern. J. High Speed Electronics and Systems. 2003. V. 13. P. 351 - 394.
