Об образовании макроскопических выступов на поверхности призматических нитевидных кристаллов кремния
- 1 д.т.н., Воронежский государственный технический университет
- 2,3 к.ф.-м.н., Воронежский государственный технический университет
- 4 Воронежский государственный технический университет
Аннотация
Методами сканирующей зондовой микроскопии исследованы макроскопические несовершенства боковых граней призматических нитевидных кристаллов (НК) кремния. Показано, что на этапе охлаждения выращенных НК на их гладких боковых гранях могут образовываться холмообразные выступы. Образование макроскопических выступов объяснено капельной конденсацией паров кремния в объеме газовой фазы при достижении точки росы. Исследовано влияние технологических параметров процесса кристаллизации на поверхностную плотность и размеры выступов.
Для цитирования
Небольсин В.А., Дунаев А.И., Долгачев А.А., Завалишин М.А. Об образовании макроскопических выступов на поверхности призматических нитевидных кристаллов кремния // Наукоемкие технологии. 2010. № 12. С. 54–57.
Список источников
- Небольсин В.А., Долгачев А.А., Дунаев А.И., Завалишин М.А. Об общих закономерностях роста микро- и наноразмерных нитевидных кристаллов кремния // Известия РАН. Сер. физическая. 2008. Т.72. №9. С.1285-1288.
- Thelander C. et al. Nanowire-based one-dimensional electronics // Mater. Today. 2006. V.9. P.28-35.
- Гиваргизов Е.И. Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники. М.: Наука. 1988. 176 с.
- Бережной А.С. Кремний и его бинарные соединения. Киев: Изд-во АН УССР. 1958. 250 с.
- Хирс Д., Паунд Г. Испарение и конденсация / пер. с англ. М.: Наука. 1966. 196 с.
- Термодинамические свойства индивидуальных веществ / под ред. В.П. Глушко. М.: Наука. 1979. 340 с.
- Небольсин В.А., Щетинин А.А. Рост нитевидных кристаллов. Воронеж: ВГУ. 2003. 620 с.