Деградация чувствительных элементов полупроводниковых структур как следствие механических напряжений
Аннотация
Определено влияние температурных механических напряжений в чувствительных элементах полупроводниковых датчиков на их основные физические параметры; рассмотрена деградация чувствительных элементов, обусловленная наличием в них механических напряжений, вызванных термоциклическими воздействиями.
Для цитирования
Косушкин В.Г., Адарчин С.А., Максимова Е.А. Деградация чувствительных элементов полупроводниковых структур как следствие механических напряжений // Наукоемкие технологии. 2007. № 4.