Нано- и роботизированные технологии в производстве поверхностно-ионизационных термоэмиттеров ионов
Аннотация
Разработан комплекс технологий и технологического оборудования, обеспечивающий производство поверхностно-ионизационных термоэмиттеров ионов.
Для цитирования
Капустин В.И., Чекулаев А.Л., Богданов А.С., Нагорнов К.О. Нано- и роботизированные технологии в производстве поверхностно-ионизационных термоэмиттеров ионов // Наукоемкие технологии. 2007. № 4.