Оптимизация характеристик акустоэлектронных устройств, основанных на тонких пьезоэлектрических пластинах
- 1 д.ф.-м.н., гл. науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва)
- 2 начальник лаборатории фотошаблонов, АО «НИИ Элпа» (Москва); ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва)
- 3 к.ф.-м.н., науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва)
- 4 к.ф.-м.н., ст. науч. сотрудник, АО «НИИ Элпа» (Москва)
Аннотация
Представлен новый метод оптимизации рабочих характеристик акустоэлектронных устройств, основанный на нанесении пьезоэлектрической пленки одного материала на пластину другого. На примере структуры пленка AlN/пластина Bi12GeO20 показано, что с помощью такого метода рабочие частоты, связанные со скоростями распространения акустических волн, и вносимые потери, связанные с их коэффициентами электромеханической связи, могут как увеличиваться, так и уменьшаться в зависимости от толщины пленки, номера волны и конфигурации встречно-штыревых преобразователей.
Для цитирования
Анисимкин В.И., Воронова Н.В., Кузнецова А.С., Осипенко В.А. Оптимизация характеристик акустоэлектронных устройств, основанных на тонких пьезоэлектрических пластинах // Радиотехника. 2018. № 7. С. 146–148. DOI: https://doi.org/10.18127/j00338486-201807-25
Список источников
- Анисимкин И.В., Гуляев Ю.В., Анисимкин В.И. Методы исследования жидкостей с помощью поверхностных акустических волн // Радиотехника. 2010. № 9. С. 9−31.
- Adler E.L., Slaboszewics J.K., Farnell G.W., Jen C.K. Software for SAW Propagation in Anisotropic Multi-Layers // IEEE Trans. on Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr. 1990. V. 37. № 3. P. 215−220.
- Slobodnik A.J., Jr., Conway E.D., Delmonico R.T. Microwave Acoustic Handbook. 1973. AFCRL-TR-73-0597.
- Anisimkin V.I., Voronova N.V. Acoustic properties of the film/plate layered structure // IEEE Transactions. 2011. V. UFFC-58. № 3. P. 578−584.
- Farnell G.W., Adle E.L. Elastic Wave Propagation in Thin Layers in Physical Acoustics. Ed. By W.P. Mason, R.N. Thurston. NYLondon. 1972. V. 7. P. 35−127.