Туннельная эмиссия электронов из нанокомпозиционных алмазографитовых пленочных структур
- 1 д.т.н., профессор, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- 2 к.т.н., АО «НПП «Алмаз» (г. Саратов)
- 3 сотрудник АО «НПП «Алмаз» (г. Саратов)
Аннотация
Экспериментально установлено и обосновано с использованием квантово-механических представлений влияние режима осаждения алмазографитовых пленочных структур в неравновесной СВЧ-плазме паров этанола низкого давления на их авто-эмиссионные характеристики. Показано, что выбором режимов осаждения, обеспечивающих уменьшение размеров алмазо-подобных нанокластеров в графитоподобных матрицах, достигается уменьшение порога напряженности электрического поля автоэлектронной эмиссии в 4−6 раз по сравнению с аморфными гидрогенезированными углеродными пленками, полученными другими способами.
Для цитирования
Яфаров Р.К., Шалаев П.Д., Яфаров А.Р. Туннельная эмиссия электронов из нанокомпозиционных алмазографитовых пленочных структур // Радиотехника. 2016. № 7. С. 41–46.
Список источников
- Bonard J.M., Salvetat J.- P., Stockli T., Heer W.A., Forro L., Chatelain A. // Appl. Phys. Lett. 1998. V. 73. P. 918.
- Яфаров Р.К. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий. М.: Физматлит. 2009. 216 с.
- Технология тонких пленок / Пер. с англ. / Под ред. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко. М.: Сов. радио. 1977. 764 с.
- Алмазы в электронной технике: сб. ст. / Под ред. В.Б. Кваскова. М.: Энергоатомиздат. 1990. 248 с.
- Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. Введение в физику поверхности. М.: Наука. 2006. 490 с.
- Пат. на изобретение № 2309480 РФ от 27.10. 2007. Бюл. № 30. Материал и способ изготовления многоострийного автоэмиссионного катода / Яфаров Р.К., Муллин В.В., Семенов В.К.