Бесконтактный метод измерения проводимости тонких пленок

Б.Д. Зайцев; А.А. Теплых; А.М. Шихабудинов; И.Е. Кузнецова

Бесконтактный метод измерения проводимости тонких пленок

Б.Д. Зайцев¹, А.А. Теплых², А.М. Шихабудинов³, И.Е. Кузнецова⁴

научная статья Страницы: 60-61

¹ д.ф.-м.н. зав. лабораторией, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
² к.ф.-м.н., ст. науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
³ к.ф.-м.н., науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
⁴ д.ф.-м.н. вед. науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

Ключевые слова: акустические волны в пластинах неразрушающие измерения

Аннотация

Разработан бесконтактный метод измерения проводимости тонких пленок при помощи линии задержки на SH0 волнах изготовленной на основе Y-среза пластины ниобата. Установлено, что при расположении над поверхностью линии задержки между встречно-штыревым преобразователем (ВШП) диэлектрической пластины с тонкой проводящей пленкой фаза выходного сигнала существенно изменяется, причем степень изменения уменьшается с ростом ширины зазора между ними. Проводимость исследуемых пленок менялась в пределах от 1 См до 1 мкСм.

Для цитирования

Зайцев Б.Д., Теплых А.А., Шихабудинов А.М., Кузнецова И.Е. Бесконтактный метод измерения проводимости тонких пленок // Нелинейный мир. 2015. № 2. С. 60–61.

Список источников

Kuznetsova I.E., Zaitsev B.D., Anisimkin V.I., Teplykh A.A., Shikhabudinov A.M., Kolesov V.V., Yakunin V.G. Noncontact determination of thin films conductance by the SH₀ plate acoustic waves // Journal of Applied Physics. 2014. V. 115. №4. 044504.
Borodina I.A., Zaitsev B.D. Kuznetsova I.E. Acoustic Waves in a Structure Containing Two Piezoelectric Plates Separated by an Air (Vacuum) Gap // Trans. on Ultrason., Ferroel. and Freq. Control. 2013. V. 60. №12. P. 2677-2681.

[1] Kuznetsova I.E., Zaitsev B.D., Anisimkin V.I., Teplykh A.A., Shikhabudinov A.M., Kolesov V.V., Yakunin V.G. Noncontact determination of thin films conductance by the SH₀ plate acoustic waves // Journal of Applied Physics. 2014. V. 115. №4. 044504.

[2] Borodina I.A., Zaitsev B.D. Kuznetsova I.E. Acoustic Waves in a Structure Containing Two Piezoelectric Plates Separated by an Air (Vacuum) Gap // Trans. on Ultrason., Ferroel. and Freq. Control. 2013. V. 60. №12. P. 2677-2681.